我们先讲一下这个东西怎么做出来。这里一个桥，那里像城市街道，还有像高速公路，这些怎么做的？刚才我们说了，在硅底物上先铺一层薄膜，然后上面甩一层光组，光组是什么东西？是一种聚合物，见了光它就分解，然后光刻机就是曝光，上面就做一个圆孔的模板，然后用光刻机这个光线照过去，把它缩小到4:1到5:1，就这个孔可以缩小，然后在底物上曝光后那部分光敏的光刻胶就分解了。你洗掉了就出来一个圆洞。然后呢用我们的等离子刻蚀，是一种等离子体，它有化学活性，可以加不同的气体，不同的活性，不同的材料有选择性，这样刻下去以后，薄膜就出来一个圆洞，然后下一步用强力的除胶机把没有曝光的光刻胶也除掉，这样就等于在我铺的薄膜上出了一个洞，然后我上面放一个铜板，一次攻击一个铜板，把铜的原子轰击到表面层，很薄的一层，就几层原子。把这个硅片上都是铜膜的，放在电解槽里面，通上负电去镀铜，铜就堆积起来，多镀一点就满出来了，从那孔出来，就平了这一层。然后化学机械抛光，磨床一样磨掉，这里就出了一个铜柱。

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