【深度长文】规模大赚钱就是好公司?政府要推动最基础的大国重器(15)
做半导体设备需要的这个学科兵种我列了一下,有50多个学科,都牵扯到才能把这样的一个精确的微观加工的设备做起来。
它的加工精度是这样。右边那个SEM呢就是我们用我们开发的刻蚀机钻的深孔,就像个钻床钻的孔一样。这个孔并不小就是50纳米,但是他的深宽比差不多40:1,下一代要做到60:1的时候,可以想象就像头发丝一样。如果你要是机械钻床,精钻宏观加工的孔,你钻过了20:1,钻头很容易做断,钻下去,卡出来断掉。我们现在刻蚀机可以钻这么深的孔,而且比它还要深。而且要求上面的直径,如果是50纳米的话,下面直径不能小于45纳米,不能小于它的1/10,如果小于就不合格。因为这个孔干什么用的呢,一个孔,就是计算机的一个记忆单元叫bit。
这里面做一个金属导管一样的,充了电就是一,放了电就是零,就是计算机的1010,它有一个读数器,去读哪个孔是一哪个孔是零,这样就编码了。
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