第一是光刻机，第二是等离子刻蚀机，第三是铺上材料薄膜设备，

三种设备就构成了这个微观加工的最核心的东西。

简单来讲，这个加工过程就像盖房子，一层一层的盖。现在盖多少层？差不多60层，要加工1000个步骤！这高楼的深孔或柱子的尺度，就我们现在说的14纳米啊、70纳米啊、7纳米等等。

大家知道人的头发丝平均直径是0.07毫米，7纳米是人头发丝的一万分之一。在这样的尺度上加工是非常困难的。其中关键就是靠光刻机和等离子体刻蚀机，两台机器精雕细刻。

我本人就是做了34年的等离子刻蚀机的开发和产业化的工作，在美国的硅谷做了20年，回国也做了14年了，就一直做等离子刻蚀机。我们还做化学薄膜设备。

我们不会做光刻机，光刻机是完全不同的领域。

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