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现在要做光刻机，必须用德国蔡司做的镜头或反光碗。蔡司是个百年老店，而且德国的精密加工是世界第一的。

但实际上这个光刻机不是德国人做的，它的镜头和反光碗是德国人提供的。然后荷兰的ASML做出整个的光刻机。

目前在大生产上的浸没式光刻机是用镜头来做光刻的，一个30多片镜头的镜头组价值5000万美金以上。最新的深紫外光刻机已经不用镜头了，用的是反光碗，有十几个反光碗，把一个激光打出来打在金属液滴上，通过多次聚焦变成一个平行光，来做曝光的。

这个反光碗的加工精度，有人跟我讲，是相当于德国国土的面积，这么大面积要平整到正负一毫米，在这样的精度下才能做出那样准确的反光碗。

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