光刻机核心部件，被荷兰ASML卡住脖子，这家中国公司打破垄断美国禁令生效后

美国禁令生效后，中科院立即宣布全面入局光刻机等高端设备的制造领域，计划集结全院之力攻克光刻机技术难关，帮助中国企业摆脱被“卡脖子”的命运。
但光刻机的攻关绝非易事，作为半导体制造领域最核心的设备，光刻机堪称多个领域顶级技术的集合体，需要的精密零部件更是数不胜数。
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正是因为光刻机领域较高的技术壁垒，荷兰巨头ASML才能够长期垄断全球市场。除了整机之外，光刻机的部分核心部件同样被掌握在ASML手中，例如双工作台技术。
资料显示，早在20年前， ASML的光刻机只有一个工作台，晶圆片的蚀刻流程以及对准工作都需要在这一个工作台中完成。
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如此一来，光刻机的工作效率被大打折扣，因此ASML发明了双工作台技术，令光刻机的工作效率得到大幅提升。多年来，这项技术一直被掌握在ASML手中，但如今却被一家中国公司打破垄断。
这家公司正是华卓精科。公开资料显示，华卓精科成立于2012年，但该公司的历史最早可以追溯到2001年，公司创始人朱煜参与了“十五”“863”IC装备重大专项的规划工作。
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当年，朱煜关注到了ASML的双工作台技术，因此成立了“光刻机工件台同步试验”专项课题，开始重点研发工件台。但国内在半导体领域本就没有太多技术储备和经验，因此朱煜团队的研发过程堪称步履维艰。
据悉， 2004年到2008年间，朱煜团队的科研经费一度告罄，研究即将面临停顿；好在2009年团队再次获得经费，朱煜也开始联合团队进行科研成果的产业化，华卓精科就此成立。
在政府的鼎力支持下， 2016年华卓精科成功研制出两套α样机，并通过02转向验收。自此，华卓精科打破了ASML在双工作台技术上的垄断，实现自主研发。
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此后三年间，华卓精科的营收稳步增长， 2019年实现营收1.2亿元，净利润达到2087万元。 2020年7月，华卓精科向上海证券交易所递交科创板的上市材料。
据招股书透露，华卓精科计划在2021年生产可用于浸没式28nm光刻机的DWSi系列双工件台，此类工件台售价大约在6000万元左右。
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华卓精科和朱煜团队的成功，在很大程度上推动了国产光刻机的研发进度，同时也大大降低了相关企业的成本支出。
【光刻机核心部件，被荷兰ASML卡住脖子，这家中国公司打破垄断】对于华卓精科的成绩，你怎么看？
文/谛林审核/子扬校正/知秋