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追本溯源 , 绝大多数的芯片是从沙子中来的 , 沙子是如何经历千辛万苦摇身一变 , 成为价格不菲的芯片呢?第一步:制作晶圆 , 严格来说 , 半导体的主要材料是硅元素 , 硅元素在地球上的储量仅次于氧元素 , 硅元素是制作集成电路最优质的原材料 。 可以说 , 沙漠这种能大量提供沙子的地方 , 已经成为优质硅元素的重要来源 。
沙子的主要成分是二氧化硅 , 而芯片制造要用到其中的硅元素 , 也就是单晶硅 。 这一步需要将硅元素从沙子中提取出来 。 目前 , 主要的提纯手段是将沙子和焦煤放到1800℃的环境中 , 二氧化硅还原成纯度为98%的单质硅 , 然后用氯化氢提纯出99.99%的多晶硅 , 接着进一步提纯99.999999999%的单晶硅 。
目前 , 制作硅锭的方法主要是直拉法 , 高温液体的硅元素中加入籽晶 , 提供晶体生长的中心 , 晶体慢慢向上提升 , 同时以一定的速度绕着升轴旋转 , 单晶硅锭就这样形成了 。 圆柱体的硅锭还不能用来制作芯片 , 需要将硅锭切割成1mm厚的圆片 , 也就是我们常说的晶圆 。 切割工具是“钻石锯” , 价值连城啊 。 下图显示了已经切割完成的晶圆 , 晶圆上还有一个缺口:第一是为了定出晶圆的方向 , 第二 , 为了运输拆卸方便 。
切割出的晶圆表面不光滑 , 需要仔细研磨 , 打磨因切割造成的凹凸不平的表面 。 研磨后 , 还需要用特殊的化学技术进行清洗 , 最后抛光 , 到了这一步 , 晶圆才制作完成 。 前工程的主要流程是在晶圆上制作出带有电路的芯片 , 其中要用到光刻机 , 世界上最先进的EUV光刻机 , 只有荷兰的ASML能够生产 。
然后将光刻胶涂抹到晶圆上 , 光刻胶是一种感光材料 , 受到光线照射后会发生化学反应 。 将光刻胶滴到晶圆上 , 通过高速旋转均匀一致的覆盖到晶圆上 , 呈一层薄膜 。 接下来紫外线照射 , 这一步进入光刻工艺 , 需要用到光刻机 , 是整个CPU制作环节 , 最复杂、成本最高的 。 将紫外线通过预先设计好的电路图案磨具 , 照射到光刻胶上 , 达到电路图复制的目的 。
随后是光刻胶溶解 , 这一步主要是为了溶解经过紫外线照射的光刻胶 , 未被照射的部分会完整保留下来 。 溶解后完成的晶圆经过冲洗、热处理后进入下一个环节 。 然后 将晶圆放到特殊的蚀刻槽中 , 通过药剂的腐蚀作用 , 将暴露在药剂中的晶圆进行蚀刻 。 蚀刻完成后 , 整个晶圆的首层电路图就完成了 。 目前 , 大多数的芯片晶体管采用了FINFET工艺 , 单层处理可能无法做出所需要的图案 , 要经过多次的“涂胶-光刻-溶解” , 才能获得最终需要的3D晶体管结构 , 如下图所示 , 显示了一个晶体管的结构 。
蚀刻完成的晶圆 , 不具备芯片所需的电气特性 , 需要强行将离子注入到晶圆内部 , 用于控制内部导电类型 。 经过这一步 , 晶圆内部的某些硅原子替换成了其他院子 , 产生了自由电子和空穴的性能 。 接下来是绝缘层处理 , 到了这一步 , 晶体管的雏形基本完成 , 利用气相沉积法在硅晶圆的表面沉积一层氧化硅膜 , 形成绝缘层 。 随后沉淀铜层 , 将铜均匀的沉积到绝缘层 , 下一步可直接在铜层上布线 。 需要再次用到光刻机 , 对铜层进行雕刻 , 形成源极、漏极、栅极 。
第八步 , 构建互联铜层 , 这一步主要是将晶体管连接起来 , 也需要经过铜层沉积-光刻-蚀刻开孔-沉积绝缘层等步骤 , 最终形成非常复杂的多层电路网络 。 实际最终完成的电路结构会高达几十层 , 首先G/W检测 , 用于检测晶圆上的每块芯片是否合格 。 通过探针 , 输入信号 , 检测输出端的信号 , 确定芯片是否合格 。
后工程 , 使用0.2mm的“钻石锯”对晶圆进行切割 , 切割后的每一小块晶圆(指甲壳大小)都单独成为一个CPU内核 , 这个过程会有很多破损的芯片 , 被直接丢弃 。 切割完成的芯片 , 也就是CPU内核 , 无法直接使用 , 需要将内核固定到基片电路 。 最后筛选封装 , 这一步给固定好的内核装片 , 安装一个可以使用的外壳 , 这个外壳不仅提供固定作用 , 还可以保护芯片 , 封装基板的触点与内核装片一一对应 , 比如intel的LGA封装技术 。
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