【深度长文】规模大赚钱就是好公司？政府要推动最基础的大国重器(22)
所以目前来讲呢，这个14纳米以后，你可以看到刻蚀机和薄膜的市场涨得非常快，因为本来是1:1:1的步骤，现在变成1:3:5了。一次光靠大概三次薄膜，要五次等离子刻蚀。所以等离子体刻蚀机的市场增长最快，接下来薄膜设备增长的也很快。
现在因为光阻越做越薄越小，它的准确度差了。所以在光刻胶的基础上，底下做成双层模板或者三层模板，那种比较复杂的叫模板的技术。这样的话呢，又增加了好多次的刻蚀，先要把模板刻好，才能刻下面的东西，所以等离子刻蚀机越来越多，等离子刻蚀机的步骤从14纳米到5纳米增加了三倍。
但是光刻虽然步骤有限，但每台机器越来越贵。现在一台光刻机，卖到两亿美元了，就是那EUV最贵的，我们的机器大概卖到400万美金一台。
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