打压|中国刻蚀机之父尹志饶:不惧美国打压,14年造出顶级刻蚀机( 二 )
尹志尧及其团队在充分研究了国内外3000个半导体领域专利的基础上,凭借着记忆规划出了国产刻蚀机的研发方向。
弯道超车,国产5NM刻蚀机震惊世界
尹志尧立下目标,要用15年时间追赶,20年时间超越。中微公司在尹志尧的带领下用了短短十年时间就相继推出了七十五到七纳米工艺制程的离子刻蚀机设备,始终保持与当时世界最先进的刻蚀测试设备技术同步。
尹志尧这样来解释他们的工作难度:最杰出的米粒微雕艺术家在一颗米粒上雕刻200个汉字已经达到了极限,而他们研发的等离子刻蚀机的加工工艺相当于在一颗米粒上雕刻10亿个汉字。
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成立只有15年的中微公司,自主研发、生产和销售的500多个刻蚀反应台已经在中国、韩国、新加坡、日本和中国台湾等多个国家和地区的40多条先进芯片生产线上运行,高质量生产出了6000多万片晶圆。
芯片生产巨头台积电也宣布将中微公司纳入纳米刻蚀设备商采购名单,成为了向台积电提供7纳米刻蚀设备的唯一大陆企业。5年前,美国商务部派人考察了中微企业,之后发表声明宣布放弃限制向中国出口刻蚀设备。
标志着中微公司首次打破了西方国家在集成电路高端装备领域的垄断控制,成功打破西方的封锁,突围而出。中微公司在尹志尧的率领下乘风破浪更进一步,先于IBM公司两周时间,掌握了5纳米等离子刻蚀机技术,成功实现弯道超车,抢占了这一技术的战略制高点,成为世界第一。
该设备最近通过了台积电的验证,标志着中国在蚀刻机研发领域已经达到了世界一流水平。这一功劳一大半应归功于尹志尧领衔的中微半导体公司。尹志尧从回国创业到成功研发5纳米等离子体刻蚀测试机,一共用了14年时间。
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法庭上屹立不倒
尹志宏带领中微公司在刻蚀机研发领域取得如此成就,其艰险程度非常人所能想象,中微可以说是一面要用少的可怜的资金研发最先进的设备与西方竞争对手正面交战,另一方面他还要在法庭上不断应付美国3大刻蚀机生产巨头的法律诉讼。
卑劣的美国公司技术硬杠不过,采用这种下三滥的手段不断诽谤中微泄露商业机密、侵犯其知识产权专利。10年间,美国半导体领域的三大巨头应用材料、科林研发、维科轮番发起对中微公司涉嫌泄露商业机密和专利侵权的法律诉讼,遏制中微企业的企图昭然若揭。
中微公司成为了被美国企业诉讼最多的公司。在这四场最大的官司中,美国半导体三家巨头无不被中微公司打得落花流水,始终抓不到中微公司的把柄。面对竞争对手的不断诉讼,中微公司作了充分的准备。
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该公司先后在国内外申请了1200多个专利,大部分是发明专利,有力保护了其通过自主创新获得的知识产权,这是中微公司屹立不倒、无懈可击的最有力法宝。
为了使中微公司的专利产权得到很好的保护,尹志尧做出了非常精妙的制度设计。员工在入职中微的时候必须签保密协议,保证不泄露任何机密文件,否则要承担法律责任。他要求员工必须详细研究了半导体所有专利涉及的领域,知道哪些领域的技术可以碰,哪些领域必须绕着走。
员工一旦在技术上有突破,第一时间申请专利,以便形成非常坚实的专利保护壁垒。中微全体员工必须遵循中国乃至世界各国的知识产权保护法律,保证不触碰任何一国的法律红线。
乘风破浪的中微
目前,中微公司成为了中国刻蚀机自主品牌的领头羊,产品覆盖了介质刻蚀、硅刻蚀、金属刻蚀、薄膜设备、MOCVD等各大领域,装备了国内所有的集成电路先进封装企业。中微在硅刻蚀领域做出了重大突破,中微生产的TSV刻蚀设备在中国市场的占有量达到了50%,产品还远销欧洲。
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【 打压|中国刻蚀机之父尹志饶:不惧美国打压,14年造出顶级刻蚀机】中微自主研发的MOCVD设备打破美国维科和德国爱思强的联手封锁垄断,成为该设备在全球的最大供应商。尹志尧在世界半导体巨头公司的轮番攻击下,硬是仅仅用了15年便把中微公司打造成了世界一流刻蚀机公司,技术已领先美国半导体巨头十年。是他,让中国人的"芯"开始抬头。
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