中科院宁波材料所AFM:横向极性结构AlGaN量子阱,增强紫外发光的(17)

c

2

μ

m

b

d

6

μ

m

周期性的生长的

LPS MQW

的图案化的

LT-AlN

缓冲液的

AFM

图像和俯视

SEM

图像。

中科院宁波材料所AFM:横向极性结构AlGaN量子阱,增强紫外发光的