中科院宁波材料所AFM：横向极性结构AlGaN量子阱，增强紫外发光的(21)
LPS
样品的空间分辨
PL
强度映射。彩条代表
MQW
的积分
发光
强度。具有
d）
6
μ
m
周期性的
LPS
的俯视
SEM
图像和
e
）与
SEM
图像在相同位置处的空间分辨相对
IQE
分布。
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