图

a

）制造

LPS MQW

的示意性工艺流程。步骤（

1

）是实现图案化的

LT-AlN

缓冲剂的选择性

RIE

。步骤（

2

）是

LPS

在缓冲液顶部的外延生长，其中红色柱和半透明区分别代表

III

和

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