实验室|SGS半导体超痕量分析实验室落户张江
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(全球TMT2020年12月1日讯)12月1日, 国际公认的检验、鉴定、测试和认证机构SGS通标标准技术服务有限公司(下简称“SGS通标公司”)投建的半导体超痕量分析实验室在上海张江正式投入运营。
作为长三角地区首个外资第三方半导体超痕量分析实验室,该实验室有望帮助芯片工厂加强产业链原物料的品质把控,提升晶圆生产良率,减少缺陷,为中国半导体产业快速发展提供服务支持。物料与环境的痕量污染物的分析与控制一直是半导体生产中良率提升的关键,SGS超痕量分析实验室有与5纳米工艺客户合作的经验,能检测出ppt等级的痕量污染物,这点也是能帮助国内半导体工艺从14纳米提升至10纳米甚至未来5纳米的关键环节。
SGS半导体超痕量分析实验室可为半导体产业链企业提供原物料相关的测试服务,包含超纯水,气体,超纯化学品,硅片,另一方面也提供针对半导体工艺机台和无尘自动化机械手臂的针对ISO 14644颗粒度测试,同时也为半导体生产的洁净室提供空气分子污染检测。
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【 实验室|SGS半导体超痕量分析实验室落户张江】https://www.sgsgroup.com.cn
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