南泥湾精神,支撑华为的第四场战役:光刻机

国产芯片发力迟迟未能成功 , 其根本原因就在于技术 , 因为掌握不到先进的晶圆工艺技术 , 导致我国半导体产业的发展缓慢 , 而这其中最根本的原因之一 , 或许跟先进的光刻机密切相关 。 如果拥有了先进光刻机 , 应该就能够推动为国晶圆工艺的发展 。
南泥湾精神,支撑华为的第四场战役:光刻机文章插图
光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机 , 曝光系统 , 光刻系统等 , 是制造芯片的核心装备 。 它采用类似照片冲印技术 , 把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上 。 光刻机分为紫外光源(UV)、深紫外光源(DUV)、极紫外光源(EUV) 。
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光刻机是整个芯片生产制造的核心设备 , 光刻机是整个欧洲先进技术的结晶 , 是工业时代顶尖技术的荟萃 。 而在全球光刻机市场上 , 日本的尼康、佳能和荷兰的ASML占据了90%以上的份额 , 只有荷兰ASML能生产全球最先进的EUV光刻机 。
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光刻机由:照明系统(光源+产生均匀光的光路)、Stage系统(包括Reticle Stage和Wafer Stage)、镜头组(是光刻机的核心)、搬送系统(Wafer Handler+ Reticle Handler)、Alignment系统(WGA、LSA、 FIA)构成 。
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通过激发紫外线管的K极 , 发射出的紫外线被称为极紫外线 , 极紫外光刻机(Extreme ultra-violet , 也称EUV或EUVL)采用了波长为10~14纳米的极紫外光作为光源的光刻技术 , 可使曝光波长降到13.5nm , 它能够把光刻技术扩展到32nm以下的特征尺寸 。
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光刻技术是现代集成电路生产制造的最大瓶颈 , EUV光刻机对于芯片制造的重要性是可想而知的 , 华为高端的麒麟芯片之所以有绝版的可能 , 就是因为台积电无法再为其代工 , 而我国的其它代工厂没有掌握到先进的工艺 , 很大程度上是缺少了EUV光刻机这一关键设备环 。
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【南泥湾精神,支撑华为的第四场战役:光刻机】目前 , 我国也只有商用的90nm工艺 , 和研制中的28nm工艺 , 这离ASML已能实现的5nm , 甚至3nm工艺有着巨大的差距 。 既然是瓶颈 , 别人做不了 , 那就自己研发 , 这就是南泥湾精神支撑华为的第四场战役:光刻机 。 当下华为正在全世界延揽人才 , 投资百亿 , 集精华人才参战 , 打赢第四场战役 。