中微半导体5nm工艺实现突破,国产芯片春天到了?
自从中兴和华为被针对以后 , 国内的半导体产业迎来了前所未有的变局 , 现在华为麒麟芯片又面临着绝版危机 。 这一波下来让越来越多的人开始关注半导体行业、关注国产芯片 。 但是关注归关注 , 鲁sir相信依然有不少小伙伴并不知道什么是半导体 , 也不知道什么是芯片 。 前段时间国内半导体巨头中微半导体宣布突破5nm刻蚀机 , 就有很多媒体开始鼓吹国产芯片崛起在望 , 一时间仿佛都轮到荷兰ASML跪地求饶的份了 。 这样的局面鲁sir实在是看不下去 , 那么本期鲁sir就给大家解释一下半导体行业那些容易被用来忽悠人的点 。
什么是半导体?
第一个问题 , 什么是半导体?我们在初中物理中学到过 , 能够导电的物体例如金银铜铁等都是导体 , 不能导电的例如塑料、纸张、陶瓷等都是绝缘体 。 那么有没有一种在某种情况下可以导电、在某种情况下又不导电的东西呢?有 , 这就是半导体 。
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半导体的代表物质是硅 , 这是一种地球上最多的物质 , 多到什么地步?随手抓一把沙子 , 你就可以说我手里抓着一把没有提纯的硅 。
硅可以用来做什么?
硅的用处多了去了 , 毫不夸张的说 , 你的生活是绝对无法离开硅的 , 不管你的电脑、手机、智能音响、智能灯泡 。 只要这个电器需要用到芯片 , 也不管它是多大的芯片 , 全部需要用硅来做 。
前面我们说了拿出一把沙子提纯后就可以得到硅 。 正所谓抛开剂量谈毒性都是耍流氓 , 抛开纯度谈提纯也是耍流氓 , 把沙子中的硅提纯到99.9999999%后就可以到得到单晶硅 。 提纯精度大概是两吨沙子里面只允许出现一粒灰尘 。 提纯好的硅棒如图 。
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硅棒提纯完毕后进入切片打磨阶段 , 划重点 , 硅片切出来以后需要绝对的平整 , 细菌踩上去都要打滑的那种 。
常说的芯片工艺是什么?
在回答这个问题之前 , 鲁sir先来给大家捋一捋如何制造一颗芯片 。
上面我们已经得到了硅片 , 这时候就需要进行下一个步骤了 , 那就是光刻 , 别急这时候还没到中微半导体出场的时候 。 光刻需要用到一个叫做光刻机的东西 , 目前顶级光刻机技术来自于荷兰ASML , 5nm级的光刻机目前只有荷兰ASML可以生产 。 大概长这样 。
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得到了硅片以后我们需要在硅片上面均匀的去涂抹一层光刻胶 , 光刻胶在遇到光刻机的灯光后被照射到的部分会变性 。 我们都知道光是具有能量的 , 当这个能量被聚集到一个点上 , 那么这个点的温度是足以点燃纸张 , 最直观的解释就是相信很多小伙伴小时候都用放大镜去点燃过纸张 , 被放大镜聚焦到一个点上光即使无法点燃纸张 , 也能把纸张的局部烤成黄色 。 例如下图用激光照射后的书本 。
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可以很明显的看到有一条竖向的痕迹 , 而其他部分并没有受到灼烧 , 这个跟光刻机差不多 , 但是光刻机要做到的 , 就是把这条燃烧出来的黑色痕迹的宽度缩小到5nm , 大概相当于一根头发的5000分之一那么细 。 光刻机把激光变成直径5nm的光线 , 光线照射涂在硅表面的光刻胶以后光刻胶变性 , 产生直径约为5nm的沟壑 。 大概鲁sir用这张图给大家解释下 。
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光刻机用5nm直径的光线去照射光刻胶 , 在光刻胶上得到5nm的变性区域 , 这个5nm就是我们常说的芯片工艺 。
得到5nm的变性区域后 , 再通过技术手段洗掉变性区域 , 得到在光刻胶上的5nm沟壑 。 随后就轮到中微半导体的刻蚀机出场了 。
中微半导体的工艺能做什么?
前面我们提到了使用光刻机在光刻胶上得到5nm的沟壑 , 然而到这一步这个沟壑还是存在于光刻胶上 , 并没有出现在硅片上 。 这时候就轮到刻蚀机出场了 。 刻蚀机大概长这样 。
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将上一步光刻机刻好的硅片转移到刻蚀机上 , 刻蚀机再循着光刻胶的痕迹去在硅片上掏沟壑 。 如果光刻机刻出来是5nm , 那么掏出来的沟壑必然也是5nm , 制造出来的芯片就是5nm工艺 。
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