文章图片





我想如果有2个的话 ， 其中之一应该是德国 ， 为什么呢？我在搜索EUV镀膜技术资料时 ， 浏览了德国Fraunhofer研究所下属的光学与表面研究所 ， 发现这家研究所几乎拥有所有的高精尖光学与表面测量技术和装备 。 当然 ， 毫无例外的是 ， Fraunhofer也有全套的EUV光源研究、镜头研究、计量装备研究、工艺研究等等 。 除了Fraunhofer的大量研究所 ， 我们熟知的镜头制造材料、加工、光学制造、准分子激光、二氧化碳激光 ， 无一不是德国工业界擅长的 。



我们都知道 ， 微纳加工在中国是很时髦和流行的课题 ， 国内这部分基础研究在国际上因微纳研究论文数量而名声鹊起 。 然而 ， 中国科研人员可能极少思考：没有了进口设备 ， 我们还剩下什么？从国家和大众以及科研人员自身角度而言 ， 其实从事微纳加工研究的科研人员是没有错的--他们的确为国家在前沿科技研究上紧跟国际、不断创新做了极大的努力 。



古人有“工欲善其事 ， 必先利其器”的大智慧 ， 在我们这二十年的科技发展过程里 ， 恰恰忽视了这一点 。 所以简单来说 ， 我们的科研体系是一条腿走路 ， 我们是靠西方科研体系的“拐杖”在前进--看似风光 ， 实则危机重重 。 而光刻机之殇 ， 其实正是我们缺“其器” 。


【光刻机|有没有一个国家可以单独制造极紫外EUV光刻机？】

我看到有朋友提到中国需要建立类似Fraunhofer类似的国家工程研究院体系 ， 似乎是很有道理的 。 我会把Fraunhofer的一些详细技术资料整理统计一下 。

稿源：(瓜娃子玩机)

【傻大方】网址：http://www.shadafang.com/c/103093P212021.html

标题：光刻机|有没有一个国家可以单独制造极紫外EUV光刻机？