光刻机|ASML:中企正在“关闭”EUV光刻机的大门

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光刻机|ASML:中企正在“关闭”EUV光刻机的大门

ASML凭借独家生产EUV光刻机的技术优势 , 在光刻机市场供应链中占据极大地位 。 按照ASML的目标 , 未来还会生产出更多的EUV光刻机 , 大幅提高产能 。 预计会在2025年达到年产70台的水准 。

但是由于只有ASML能生产 , 给各国追逐顶级芯片制造产业链带来更多的变数 , 因此各国纷纷行动 , 展开对顶级光刻机的研究 。
哪些国家展开行动 , 对顶级光刻机又进行了怎样的研究布局呢?若各国EUV光刻机破冰 , 对ASML意味着什么?

关于顶级光刻机研究 , 各国纷纷行动ASML的EUV光刻机客户就那么几个 , 台积电、三星、SK海力士、英特尔 。 这四家企业是目前明确采用ASML EUV光刻机的客户 。
一般来说 , 购买EUV光刻机必须具备两个个条件 , 一个是在可供货范围内 , 不受任何规则影响 。 第二个是有足够的资金 , 用于支付昂贵的EUV光刻机费用 , 一台大概价值1.2亿美元 。

钱的问题好解决 , 很多半导体制造巨头都能支付这笔费用 。 但是处在自由贸易市场 , 不受某些规则影响 , 就已经给ASML排除了一大批潜在客户 。
而且采购EUV光刻机的厂商必然是掌握了相应技术实力 , 有生产高端芯片的需求 , 否则不可能花费大价钱买用不来的设备 。 这又筛选了一大批厂商 。
EUV光刻机主要用于生产高端芯片 , 全球芯片制造商当中 , 能造出的又有多少 。 所以购买EUV光刻机的两个条件并不是那么容易达成的 。

但实际上 , 各国对EUV光刻机的需求并不小 , 只是奈何市场规则 , ASML无法做到EUV光刻机的自由出货 , 既然如此 , 那便展开自主研发 , 于是关于顶级光刻机的研究 , 各国纷纷行动 。
有哪些国家对顶级光刻机进行了怎样的布局呢?目前来看 , 对顶级光刻机有参与研究布局的国家主要包括三个 , 分别是中国、俄罗斯、日本 。

这三个国家在顶级EUV光刻机设备方面 , 有的展开理论基础的研究 , 有的进行实际产业链布局 , 也有的还在定下目标计划阶段 。
比如中国在EUV光刻机展开基础理论的研究 , 并且还有中科院参与的身影 。
根据中科院上海光机所发布的2022博士后招聘公告可知 , 其中的工作岗位涉及到EUV光刻机 。 如“原子分子物理”这项工作方向的工作内容为光刻机EUV光源产生理论和实验研究 。

中科院招聘的多项工作岗位和EUV光源有关 , 如此明确的定向布局 , 意味着什么不用多说了 。
不过和中国布局EUV光刻机光源理论研究不同 , 俄罗斯选择的是另辟蹊径 , 用X射线研发X射线光刻机 。 计划造出媲美ASML EUV极紫外光的光刻机设备 。
相比于EUV极紫外光 , X射线的波长更短 , 分辨率更高 , 如果俄罗斯研究成功 , 必然是ASML不愿看见的 。

最后就是日本了 , 在大部分人的印象中 , 日本半导体产业的实力主要集中在光刻胶材料 , EUV光罩或者是电容 , 电阻等 。 但许多人容易忽略的是 , 日本光刻机产业的实力同样不俗 。
并且是全球范围内唯一拥有两家光刻机厂商的国家 , 这两家厂商分别为佳能 , 尼康 。 由于光刻机的原理和照相机相似 , 因此佳能 , 尼康同时也是世界顶级的照相机巨头 。
面向未来 , 佳能已经展开行动 , 在后道光刻机领域研究3D封装光刻机 , 为行业日益成为焦点的芯片堆叠技术铺路 。 佳能或许是打算从封装出发 , 打破摩尔定律极限 , 如果成功 , 佳能3D封装光刻机或许会比ASML的前道EUV光刻机更重要 。

若EUV光刻机破冰 , 对ASML意味着什么?中国、俄罗斯、日本都展开了不同的顶级光刻机研究 , 总的来说中国进行EUV光刻机人才的招募和理论研究 , 为将来落地做准备 。 俄罗斯另辟蹊径 , 走X射线光刻机路线 。 日本瞄准后道 , 用3D封装光刻机开辟前路 。