华夏小康|寄云科技CEO时培昕:数据驱动高端制造数字化转型( 三 )
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智能应用:虚拟量测 VM
利用工艺流程和晶圆状态信息(包括upstream量测和/或传感器数据)预测工艺后量测结果 。 使用人工智能算法对芯片制造工艺参数和量测结果进行建模分析 , 包括厚度、缺陷密度/数量、方块电阻、以及在线电测试结果等 。
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智能应用:智能配方优化 ROS
通过人工智能算法加快配方开发速度 , 减少可变性并拓宽工艺窗口 , 可用于优化单个腔室和整个设备 , 根据对结果的预测自动修改配方参数或选择控制参数 , 提高加工性能和生产效率 。
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高端制造行业是寄云科技产品和服务的主战场 。 基于数据智能的NeuSeer工业互联网 ,
能够有效的帮助高端制造的客户改进设备可靠性提升、质量异常诊断和预测、产能分析和预测、供应链优化、和降低运维成本等核心价值及关键指标 , 构建一系列针对高端制造的过程控制和经营决策能力 , 创造客户价值
。
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