ASML动作频频,光刻机消息再度传来,7nm芯片有着落了?
作为光刻机行业巨头 , 荷兰公司ASML是目前世界上市场份额最大的光刻机公司 , 同时也是世界上唯一一家能够生产出EUV光刻机的公司 , 所以ASML对市场以及各大晶圆体企业的重要性不言而喻 , 台积电、三星都需要依靠ASML的光刻机生存 , 尤其是近几年台随着EUV技术的发展 , EUV光刻机更是成为了两大巨头的刚需 。
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不过和台积电、三星等企业相比 , 国内的中芯显然就没有前者顺利 , 因为一系列的原因 , 导致我国企业始终都无法顺利拿到高端的EUV光刻机 , 所以国产企业制造高端芯片之路一直没有太大的进展 。 好在中芯在没有EUV光刻机的情况之下研发出了N+1工艺技术 , 能够制造出堪比7nm工艺的产品 。
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而在美国修改了芯片规则之后 , 我国在芯片制造方面就已经开始了自己的发展 。 同时也是为了摆脱对美国技术以及打破没有EUV光刻机的困境 , 我国下定目标 , 准备在2025年芯片的自给率达到70% , 并且将集成电路学科作为一级学科 , 甚至还将光刻机列入了重点发展方向当中 。
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这么做的原因其实非常简单 , 那就是要在短时间内实现芯片的自给 , 避免华为的情况再次出现 。 而在我国决定要自研光刻机之后不久 , ASML就开始对国内市场表现出比较友好的态度 。 首先 , ASML表示未来将加大对国内市场的投资情况 , 扩大在国内市场的发展规模 。
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其次就是关于光刻机的问题 , ASML表示虽然EUV光刻机的出口受到了限制 , 但ASML目前可以向我国出口DUV光刻机产品 , 并且这部分产品并不需要美国的许可 。 DUV光刻机相对于EUV光刻机来说肯定属于中低端产品 。 这段时间ASML可谓是动作频频 , 而近日在第三届进博会上 , ASML也再有动作 , 关于光刻机的消息也再次传来 , 因为ASML在展会上展出了能够生产7nm芯片及以上工艺的DUV光刻机 。
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ASML的这个动作可以看出是为了争取国内市场而展示自己的实力 , 因为在不少人的眼中来看 , DUV光刻机属于低端货 。 所以这次ASML表示DUV最高可以制造7nm工艺水平的产品 , 这么做主要是为了消除这种概念 , 从而够扩大自己的生意订单 , 吸引更多的企业来购买DUV光刻机 。
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当然 , 不管ASML再怎么展现DUV光刻机 , 不可否认的是DUV光刻机已经不再适合未来的发展 , 因为理论上来说DUV光刻机适应的时代是45nm-28nm时代 , 虽然7nm可用 , 但是制造成本相比EUV光刻机来说高出太多 , 因为DUV光刻机制造先进的7nm工艺技术需要多重曝光技术 , 每一次曝光的成本都相当高 。 而EUV光刻机则不同 , 不需要多次曝光 , 所以出于成本方面和良品率方面的控制 , EUV光刻机才是未来发展的主流 , DUV只能暂解目前的燃眉之急而已 。
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但不管怎么说 , ASML目前都表现出了友好的态度 , 至少愿意在国内发展 , 为国内企业出口DUV光刻机 , 而DUV光刻机也能让国内的7nm芯片有了着落 , 尽管这其中包含着一些利益因素 , 但对我国的芯片制造行业来说其实也是一个好消息 。
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