电脑报|ASML公布全新EUV光刻机：提高了18%生产率据《科创板日报》

据《科创板日报》，荷兰光刻机制造商阿斯麦ASML近日公布了全新EUV(极紫外光刻机)TWINSCANNXE:3600D最终规格。具体来说， 30mJ/cm2的曝光速度达到每小时曝光160片晶圆，提高了18%的生产率，并改进机器匹配套准精度至1.1纳米，计划于2021年的中期开始发货，价格应该不会低于现款老型号的1.2亿美元。
极紫外光刻机已经成为7nm以下制程的关键了，目前全球只有能供应。台积电、三星这两大芯片代工商的制程工艺都已提升到了7nm和5nm ，他们所需要的极紫外光刻机也全部仰仗于ASML ，全新的TWINSCANNXE:3600D的首台，预计也会交由这两家代工商中的一家。

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目前， ASML已经投产的最先进光刻机是3400C ，但主力出货型号是3400B 。参数方面， 3400B的套刻精度为2nm、曝光速度20mJ/cm2 ，每小时可处理125片晶圆。而3400C的产能也从之前的125WPH(每小时处理晶圆数)提升到了175WPH 。
另外， ASML透露， 3400B在三季度也完成了软件升级。全新的DUV光刻机TWINSCANNXT:2050i已经在三季度结束验证，四季度早期开始正式出货。
日前， ASML公布了截止9月30日的三季度财报：当季销售额为40亿欧元，净利润11亿欧元（约合87亿元人民币），毛利率47.5% ，净利率27.5% 。此外， ASML第三季度还新增订单29亿欧元。
【电脑报|ASML公布全新EUV光刻机：提高了18%生产率】ASML预估四季度的收入在36到38亿欧元，毛利率50%左右， 2020全年的营收应该至少能达到133亿欧元。
同时外媒报道， ASML向客户交付并可确认收入的光刻机达60台，总额31亿欧元。其中， 14台为极紫外光刻机，较上一季度增加7台，但整体的交付量较上一季度减少了1台。
地区方面，中国台湾贡献了光刻机收入的47% ，看来台积电支付了一大笔EUV机器的货款。韩国厂商贡献了26% ，中国大陆企业贡献了21% 。
（编辑：崔丽容）