群众网东北并不缺少高科技发展的原动力 |

不知从何时起，全国人民一提到东北，已经不再是那个共和国长子，城市化最高的地区。对大多数国人来说，东北近些年成了经济衰退、产能落后、人才净流出的一个代名词。不可否则伴随着改革开放市场化的深入，很多东北的国有企业也的确完成了历史所交付的使命、很多企业的确在市场经济的环境中被淘汰。这就使人形成一种偏见的思维，因为东北没有科技创新、所以才产能落后、并且无法完成适应当今市场需求。

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事实真的是这样吗？
当然不是，实际情况是东北在新中国的整过工业体系建设中起到了至关重要的作用。由于起步早，在很多领域都有着领先全国的研究。
可能有人不信，那么我就用实例来说明。前段时间，华为被美国芯片断供的新闻大家都不陌生。其实华为本身是有自己的芯片设计能力的，只是碍于制造过程中EUV的光刻机目前是被人卡脖子的，这就不得不寻求台积电的合作。此次美国在芯片领域全面对华为发起限制，也使我们看清一个问题，高科技领域要靠自主，否则随时可能被人卡脖子。既然叫光刻机，光学部分相对就是最基本的组成。在全国的光学领域，东北区域的一下科研院所和研究机构绝对是全国的扛把子。

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EUV光源（LPP/LDP/DPP ， ASML用的是LPP）
目前比较成型（LPP）的极紫外光都是通过激光照射液态金属液滴（多为液滴锡靶）实现极紫外光的产生。但是这种产生出来的极紫外光的路径光衰比较夸张（感觉电磁学的经典理论，波长越短，也就是频率越高，路径衰耗就越明显）。要得到更高照度的极紫外光，其激发的激光光源的就一定要很大才能满足EUV足够的光强度到衍射膜的条件。
但是事件其实远没有这么简单，通常大的激光器都是靠充能之后瞬间释放，充能、发光、冷却都需要一定时间。但是光刻领域使用的光源不光是要高功率，还要求具备非常高的发射频率以及高精度的一致性。

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为什么需要高频率
为了加大极紫外光的强度，都是使用激光光束多次照射液态金属液滴。这样通过整过光学镜组的时候的一些衰弱之后（通常会损失30%左右的能量），才能保证还有足够的强度。

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为什么要求高精度的一致性
对光学有了解的人知道，光源发出来的是一个连续的光谱。在光刻机领域，在高频次/长时间使用的情况下，依然要求每次光源发出的光谱高精度的接近一致。这就需要光源的各个组成部分的一致性超高、并且还要具备超好的耐疲劳性。

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有家科研机构就已经基本制造出了LPP的泵浦激光器（ASML用的是Cymer的大功率二氧化碳激光器），这家结构就是哈工大。哈工大做的这条DPP-EUV极紫外光光源系统（小道未经官方证实的消息，某度贴吧号称可以达到250瓦）应该是全国最先进的EUV极紫外光光源的解决方案了，没有之一。

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有人可能要酸酸的说，科研院所弄出来的东西可能还离市场化远着呢。相信科益虹源应该很快发起和哈工大的深度合作，毕竟国家级战略项目优质资源整合是可以实现一加一大于二的。