太平洋电脑网半导体皇冠上的明珠：瓦森纳与光刻机你了解多少( 二 )

除了不能买到最新的生产设备之外，因为《瓦尔纳协定》中的条款限制，华裔工程师还不能进入到欧美等知名半导体公司的核心部门，防止技术泄露。中国的半导体产业，因而受到了从生产设备到人才积累的全方位压制。直至今天，即使中国企业能够掌握先进的工艺制程，也因无法得到先进的设备而不能进行芯片的实际生产。
称霸世界半导体制造行业的巨头， ASML
目前拥有光刻机制造能力的企业主要有荷兰ASML ，日本尼康、佳能，德国SUSS、美国ABM, Inc.以及中国的上海微电子装备。在这之中，尼康早年凭借相机方面的技术积累，获取了来自IBM、英特尔、AMD、德州仪器的大量订单，与当时来自美国的行业龙头GCA平起平坐，象征了日本半导体产业的腾飞。然而，风水轮流转，由于国与国之间的商业及技术博弈，最终却让ASML这个曾经名不见经传的角色坐到了光刻机制造领域的王座上。
在几十年前， ASML还只是飞利浦电子旗下的一个合资小公司，全公司从老板到普通职员也只有31位成员。 ASML在当时也没有正式的办公地点，公司上上下下全数挤在飞利浦总部旁边临时搭建的板房之中办公。 ASML的名号甚至没有几个人知晓，外出进行销售谈判还得行飞利浦母公司的名义。
但就是这么一家公司，成立仅二十年不到，就实现了技术的飞跃，掌控了各大晶圆代工厂的能否开工的生杀大权。 ASML甚至扬言道“如果我们交不出EUV光刻机，那么摩尔定律就将会停摆” 。
ASML的发展历史中充满了机遇和挑战。 2003年，其联合台积电工程师林本坚研发“沉浸式光刻”方案，依靠水会影响光的折射率这一特点，在2004年推出了132nm光源波长的光刻机产品，夺得了IBM、台积电等大客户的订单。 ASML也正是凭借132nm光刻机将当时仍在坚守干式微影157nm技术的尼康，打得气喘吁吁。 ASML也靠着这漂亮的一仗，赢得了当时美国新生，主导极紫外技术的EUV LLC联盟的入场券，从而在之后的岁月中获得了美方的大量软、硬件技术资源共享。 ASML更是在2013年以25亿美元高价，并购了一家名为Cymer的美国公司，因为其拥有生产EUV光刻技术所需大功率光源的能力。
纵观ASML的发展之路，甚至可以称得上是幸运。虽然ASML在2004年的成功获得了业界的关注，但尼康仍然是一个非常强大的对手。有着“蓝色巨人”之称的英特尔，在32nm工艺阶段时就独家采用了来自尼康的光刻机产品，即使是之前的45nm和之后的22nm ，也采用ASML和尼康同时供货的模式。但由于尼康在遭遇美国封锁后，生产技术逐步落后，制造效率也越来越明显地落后于ASML 。最终，英特尔在新CEO上任后，还是将尼康提出了局。尼康从此一蹶不振，不得不退出IC光刻市场，其生产的光刻机在之后也主要应用于三星、LG、京东方等企业的显示面板生产领域。
当然， ASML在加入EUV LLC联盟之后也没闲着。在2015年， ASML推出了第一台可量产的EUV样机。这台重达180吨、价值高达1.2亿美元的巨无霸融合了欧美供应链厂商的零部件，也正式确立了ASML在光刻领域的垄断地位。
而在芯片制造以及光刻机领域，我们同样有很长的一段路要走，也必须得坚持走下去。

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