太平洋电脑网半导体皇冠上的明珠：瓦森纳与光刻机你了解多少

光刻机（Mask Aligner）是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的重要设备。一台光刻机主要包括了曝光系统和对准系统两个部分。光刻机能够利用曝光系统发射出的紫外线通过模版去除晶圆表面的保护膜，将器件或电路结构临时“复制”到硅片上。根据工作方式，光刻机又可分为两种。第一种是模板与图样大小一致，曝光时模板紧贴晶圆的Contact Aligner 。第二种则是利用类似投影机原理，能够获得比模板更小的曝光图样的Stepper 。
让我们先将时光倒回到2018年的12月，不知道大家还记不记得有过这样一条新闻：荷兰光刻机制造公司ASML对外宣称，其主要的元器件供应商Prodrive工厂于12月1日突生大火。 ASML预计2019年年初的的供货将遭到延期。
【太平洋电脑网半导体皇冠上的明珠：瓦森纳与光刻机你了解多少】当时， ASML全年的光刻机产量在18台左右，而国内著名集成电路制造企业中芯国际曾在2017年成功预定ASML公司1台制程为7nm的EUV光刻机订单。这场意外的火灾加上目前重重的外交因素，导致这台光刻机直至今日都未交付给中芯国际。尽管中芯国际已经掌握了7nm工艺的应用，但是却因为迟迟未到货的光刻机而无法投产，这给中国的半导体领域，特别是芯片制造产业带来了巨大的挑战。
难道中国不能制造光刻机？我可以先明确地告诉你可以，但是许多复杂的大国博弈、行业历史以及技术差距还需要在后文中为大家详细地进行介绍。
始于冷战，却未随之而终
在第二次世界大战结束后，围绕着美苏两大巨头形成了两大阵营，并进入了众所周知的冷战时期。当时，美国及其西欧盟友为了防止以苏联为首的红色阵营发展高端武器，包括美国、英国、日本、法国、澳大利亚在内的十七个国家于1949年11月在巴黎成立巴黎统筹委员会（简称巴统）。限制成员国向社会主义国家出口，包括军事武器装备、尖端技术产品和稀有物资等三大类上万种产品。

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后来随着中美建交，冷战的结束，欧美等国家看中了中国庞大的劳动力优势以及低廉的劳工成本，便稍微放松了对中国的军民用产品禁运，并于1994年4月1日正式将这个冷战时期的协会解散。
但好景不长， 1995年，包括“巴统”17国在内的28个国家在荷兰瓦森纳召开了高层峰会。 1996年7月，以西方国家为主的33个国家在奥地利维也纳便正式签署了以瓦森纳会议为基础的《瓦森纳协定》。自此，一份对中国未来科技研究及发展走向影响深远的多国协定，正式开始实行。
《瓦森纳协定》，又被称为“瓦森纳安排机制” ，全名为《关于常规武器和两用物品及技术出口控制的瓦森纳安排》。这是世界主要的工业设备和武器制造国在巴黎统筹委员会解散后于1996年成立的一个旨在控制常规武器和高新技术贸易的国际性组织。协定中包含了两份清单。一份是军民两用商品和技术清单，涵盖了先进材料、材料处理、电子器件、计算机、电信与信息安全、传感与激光、导航与航空电子仪器、船舶与海事设备、推进系统等9大类。另一份是军品清单，涵盖了各类武器弹药、设备及作战平台等共22类。
而对于中国的半导体发展，因为《瓦森纳协定》的存在，从芯片设计到制造等多个领域，都无法获取海外的先进技术。就拿今天的主题——光刻机来说，即使中芯国际能够通过与比利时微电子研究中心（IMEC）进行合作，买到二手的光刻机设备，但中国企业必须等待IMEC使用五年后才能拿到手，因为这样才符合《瓦森纳协定》中的要求。举个例子，英特尔、三星、台积电2015年能买到ASML 10NM的光刻机。而大陆的中芯国际， 2015年只能买到ASML在2010年生产的32NM的光刻机——五年时间对于半导体产业来说，已经可以得到数次迭代了。