■用钱堆出来的FinFET工艺( 六 )

时至今日，联电也没有放弃14/12纳米FinFET的研发。王石也表示，投资技术研发相对便宜，联电在14/12纳米FinFET的研发还会继续，由于昂贵的是产能建置， 14/12纳米FinFET纳米的产能建置相对就少，未来要不要扩建，一切以财务指标来说话。
中芯国际（SMIC）

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中芯国际成立于2000年4月， 2001年在上海投产首条8英寸厂生产线， 2004年在北京投产首条12英寸生产线。目前在北京、上海、天津、深圳运营多座先进的晶圆制造生产线。
中芯国际本着一步一个脚印，掌握核心技术，技术延伸一代、研发一代、成熟一代、产业化一代的宗旨，国际化企业的基因加上02重大专项的资金大力支持，中芯国际实现了集成电路技术上的追赶。 2001年中芯国际0.25微米首次流片， 2008年的110纳米量产， 2006年90纳米量产， 2010年65纳米量产， 2012年55纳米量产， 2013年40/45纳米量产。
2015年中芯国际成为中国大陆第一家提供28纳米Poly Sion制程服务的纯晶圆代工厂， 2016年完成28纳米HKMG制程，并成功流片。
中芯国际从28nm直接转入14nm ， 2017年5月宣布14纳米研发获得突破；10月16日，梁孟松正式加盟中芯国际。梁孟松在上任后，加强了研发队伍的建设，同时调整更新了14纳米FinFET规划，将3D FinFET工艺锁定在高性能运算、低功耗芯片应用。
在研发进展顺利的同时， 14纳米专用生产线的建设也在快速推进中。 2016年10月13日，投资百亿美元（675亿元）、覆盖14纳米至10/7纳米工艺节点的中芯南方12英寸生产线正式开工；2018年1月，大基金为14纳米提供金援，入股中芯南方。
2018年第4季度，第一代14纳米FinFET技术进入客户验证阶段，同时12纳米的工艺开发也取得突破；2019年第1季度， 12纳米工艺开发进入客户导入阶段，第二代FinFET研发进展顺利；2019年第2季度，第一代14纳米FinFET进入客户风险量产，第二代FinFET N+1技术平台已开始进入客户导入；2019年第3季度，第一代14纳米FinFET已成功量产；第二代FinFET N+1客户导入进展顺利。华虹集团

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华虹集团是国家“909”工程的载体，目前已发展成为以集成电路制造为主业、面向全球市场、具有较强自主创新能力和市场竞争力的高科技产业集团。华虹集团旗下拥有两大制造平台，一是华虹宏力，自建设中国大陆第一条8英寸集成电路生产线起步，目前在上海运营三条8英寸生产线（华虹一、二及三厂），在无锡运营一条月产能4万片的12英寸集成电路生产线，工艺技术覆盖1微米至55纳米各节点，其嵌入式非易失性存储器、功率器件、模拟及电源管理和逻辑及射频等差异化工艺平台在全球业界极具竞争力，并拥有多年成功量产汽车电子芯片的经验；二是上海华力，是国家“909”工程升级改造项目承担主体，目前在上海运营两条12英寸集成电路生产线，工艺技术从55纳米起步，最终将具备14纳米三维工艺的高性能芯片生产能力。
有关华虹集团的FinFET的情况不多。 2020年1月，华虹集团表示， 14纳米FinFET工艺研发获重大进展，工艺全线贯通， SRAM良率超过25% ， 2020年将快速推进，并表示更先进技术节点的先导工艺研发快速部署。
FinFET工艺产能建置隐忧
目前看来， FinFET的玩家多达七家，如果产能一旦建置完成，会否造成产能过剩。我们先来看看几个玩家的产能建置情况。
台积电最早生产FinFET始于2014年，目前FinFET工艺有5个基地，分别是位于台湾新竹的FAB12、台湾台南的FAB14和FAB18、台湾台中的FAB15和江苏南京的FAB16 。各工艺节点的布局是， 16/12纳米由FAB14和FAB16负责生产，合计月产能约15万片；7纳米由FAB15负责生产，合计月产能约15万片；5纳米主要在FAB18生产，目前FAB18 P1/P2的建置产能达10万片。当然FAB12是台积电的研发基地，各工艺节点的产能都可以协调。如此算来，台积电的FinFET月产能总计不下于40万片12英寸晶圆。