射频电源+匹配器+真空腔室,这一套下来怎么说也要几万吧,自己做电路太费时了
射频电源需要一个直流开关电源 , 一个射频功率发生器或者射频信号发生器和射频功率放大器
关键的部分是射频功率放大器 , 可以在百度上搜"乌龟 BA7KW",参考一下
匹配器根据腔室而定,大致上是两个可调电容,一个电感 。这些元件的耐压要在几十KV,电流要达到几十A 。
【等离子发生器的具体电路】
真空腔室需要精密加工,配合机械泵、分子泵抽成真空,充入稀薄惰性气体 。射频信号通过平行板电容方式(CCP)或腔室外围的线圈(ICP)耦合至腔室,将里面的稀薄气体电离 , 从而产生等离子体 。
如果,觉得这个太麻烦或者成本太高 , 给你几个简单的方法:
打火机一只 , 点燃 , 产生的火焰就是等离子体
日光灯一只,点亮,里面会产生等离子体
nec放映机的icp板是通用的 。经查询相关资料,ICP是一种串行编程方式,其通过一根时钟线和一根数据线串行传输编程指令及数据 。ICP的特点:在产品发货前,可以随时装载最新版软件程序 。在开发过程中,不需将芯片从系统板上取下,即可实现重新编程 。不占用程序存储空间(ISP要占用一定空间驻留ISP服务程序) 。不受串口的影响 。ICP的应用:利用ICP的功能,实现在电路编程,可以提高电子产品的功能,甚至改变电子产业的科技 。
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