激光调阻机的技术参数 l 激光类型:半导体端面泵浦激光器 / 光纤激光器
l 激光波长:1064/532/355nm
l 激光平均功率:10W / 20W / 7W(UV355)
l 激光频率:200Hz-50KHz
l 典型光斑尺寸:30µm
实际切口取决于材料、光学器件和波长;可根据需要选配532绿激光或355紫外激光最小光斑达12µm
l 泵浦源使用寿命:20,000—100,000小时
l 冷却方式:风冷
l 对焦方式:计算机程序控制 l 激光束运动范围:75mmX75mm(可选配其他规格)
l 点到点运动时间:5ms(典型)
l 最大速度:7000mm/s
l 重复定位精度:2.5µm
l 激光束最小步进:0.76µm l 监视方式:激光同轴监视
l 最大放大倍数:>100倍
l 图像监视显示屏:19寸液晶 l 激励方式:电流/电压激励
l 恒流源:0.01µA~100mA计算机程控选择
l 恒压源:0~20V计算机程控选择(可选其它电压范围)
l 电阻测量方式:四线制加电流测电压
l 直流电压测量:10mV~10V(满程电压)
l 调节对象发热控制:程序可设定
l 电阻测量精度:低阻:<0.05%+1%/R (R<100Ω)
中阻:<0.05%
高阻:<0.05%+0.02%R(R>0.1MΩ)
l电阻测量范围:0.01Ω-500MΩ
l电阻测量速度:25µs
l直流电压分辨率:0.16µV(在10mV满量程条件下)
l探针板:44针11组四线制(可选其它规格)
l探针板运动:计算机程序控制 l工业控制计算机(双核),17寸液晶
l操作系统:Windows XP
lVB平台开发的可视化应用软件,界面友好,功能强大 l运动XY范围:290
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