什么是四探针电阻率测试仪?四探针电阻率测试仪其实从专业角度来说 , 就是高温四探针测量系统 。该系统包括高温测试平台、高温四探针夹具、电阻率测试仪和高温电阻率测量软件 。
三琦高温四探针测量系统是为了满足材料在高温环境下的阻抗特性测量需求而设计的 。它由硬件设备和测量软件组成 , 包括高温测试平台、高温四探针夹具、电阻率测试仪和高温电阻率测量系统软件四个组成部分 。
高温测试平台是为样品提供一个高温环境;高温四探针夹具提供待测试样品的测试平台;电阻率测试仪则负责测试参数数据 。最后 , 再通过测量软件将这些硬件设备的功能整合在一起 , 形成一套由实验方案设计到温度控制、参数测量、图形数据显示与数据分析于一体的高温电阻率测量系统 。
四探针电阻率测试仪主要是测什么电阻率的?四探针电阻率测试仪也有很多种 , 例如高温的或者常温的 , 不同的四探针电阻率测试仪针对不同的材料测量的参数也是不同的 。举例 , 高温四探针电阻率测试仪可以测量硅、锗单晶电阻率和硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃和其他导电薄膜的方块电阻 , 主要用于评估半导体薄膜和薄片的导电性能 。HRMS-800高温四探针电阻率测试仪就是 , 主要测量的参数就是半导体材料的电阻、电阻率、方块电阻等 。
用四探针法测量金属薄膜电阻率时可能产生误差的根源四探针方块电阻(又叫薄膜电阻)测试仪是半导体制造中常用的检测仪器之一 , 用以测量半导体材料的电阻率和薄膜的方块电阻 , 同时达到测量半导体薄层材料的掺杂浓度和薄膜厚度、控制器件和集成电路性能的目的 。
在此基础上发展起来的交流四探针方法 , 能够消除电接触区的热电势 , 但它对交流电流源和检测信号的交流放大器稳定性的要求极为严格 , 且仍存在接触稳定性问题 。这些因素造成四探针法对于电阻值的微小变化不敏感 , 阻碍了仔细分析材料组织结构的微弱变化过程 。
四探针测试技术
是用4根等间距配置的探针扎在半导体表面上 , 由恒流源给外侧的两根探针提供一个适当小的电流I , 然后测量出中间两根探针之间的电压V , 就可以求出半导体的电阻率 。对于厚度为W(远小于长和宽)的薄半导体片 , 得到电阻率为ρ=ηW(V/I) , 式中η是修正系数 。
特别 , 对于直径比探针间距大得多的薄半导体圆片 , 得到电阻率为ρ= (π/ln2)W(V/I)= 4.532 W(V/I) [Ω-cm] , 其中W用cm作单位 。
以上内容参考:百度百科-四探针测试技术
四探针法测电阻率 , 需要用到什么仪器意思就是要用欧姆表去直接测量. 欧姆表就是自身产生一个弱电流, 去测量探针两端的电压, 然后和自身的体电阻比较, 最后给出电阻值. 但是这对于半导体是不准确的, 半导体电阻无法用两根探针测量的主要原因是:
1.接触电阻的影响严重 。探针与半导体接触产生一定厚度的耗尽层 , 耗尽层是高阻的, 另外探针和半导体之间不像与金属之间一样很好的接触, 还会产生一个额外的电阻, 称为扩展电阻 , 两者都是接触电阻 , 通常都很大. 半导体的实际电阻相对于它们越小, 测量结果就越不准确.
2.存在少子电注入.
专用方法:四探针法, 两根探针输入测量电流, 另外两根探针测量电压分布.
要是懂电流计, 电压计和电阻计的原理, 就能更明白了.
实在不行换一个 或者在硬之城上面找找这个型号的资料
什么是高温四探针电阻率测量系统?四探针法测电阻率其实从专业角度来说 , 就是使用专业的高温四探针测量系统来测量 。该系统包括高温测试平台、高温四探针夹具、高温电阻率测量软件 。
三琦高温四探针测量系统是为了满足材料在高温环境下的阻抗特性测量需求而设计的 。它由硬件设备和测量软件组成 , 包括高温测试平台、高温四探针夹具、电阻率测试仪和高温电阻率测量系统软件四个组成部分 。
高温测试平台是为样品提供一个高温环境;高温四探针夹具提供待测试样品的测试平台;电阻率测试仪则负责测试参数数据 。最后 , 再通过测量软件将这些硬件设备的功能整合在一起 , 形成一套由实验方案设计到温度控制、参数测量、图形数据显示与数据分析于一体的高温电阻率测量系统 。
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