《硅、锗单晶电阻率测定直排四探针法》
附录3.
修正系数F2为探针间距S与圆片直径D之比的函数
S/DF(S/D) S/DF(S/D) S/DF(S/D)
04.532
0.0054.531
0.0104.528
0.0154.524
0.0204.517
0.0254.508
0.0304.497 0.0354.485
0.0404.470
0.0454.454
0.0504.436
0.0554.417
0.0604.395
0.0654.372 0.0704.348
0.0754.322
0.0804.294
0.0854.265
0.0904.235
0.0954.204
0.1004.171
注：①厚度修正系数表的数据来源于国标 GB/T1552-1995
《硅、锗单晶电阻率测定直排四探针法》

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