2、吸附法
固体吸附的基本原理是基于化合物中各组分化学键极性不同来进行吸附分离 。吸附剂可选用硅胶、活性氧化铝、 ， 难点是超纯吸附剂的制备 。
资料介绍：经过精馏后的四氯化硅经过一次吸附 ， 硼的质量分数可降低到6x10-9方 ， 二次吸附可降低到2x10-10方 。
3、部分水解法
原理是：卤化硼和其他含硼络合物以及钛、铝等元素的氯化物比四氯化硅更容易水解 ， 形成不挥发的化合物 。
水的加入方式最好用一股含水的湿气体通过液态四氯化硅 。
4、络合法
效果较好的络合剂是四氢呋喃吡咯二硫代氨基甲酸钠 ， 它能将硼、钙、铝、钛、铜、镁、铁的质量分数降低到0.01--1x10-9次方 。
5、其他方法
氯化法 ：氯化、气提、精馏 。
当四氯化硅含有微量有机物时 ， 常加入少量硫酸 ， 一方面硫酸中的水与四氯化硅形成硅胶 ， 硅胶慢慢分散、吸附杂质、分层 、分离 。