高纯度|中国又一重大技术突破国产芯片有了它,再也不用受制于日本厂家 2020-12-09 市场规模 氟化氢 价格跟普通UL的比,完全不在一个量级。那么高纯度的四氟化碳主要用来做什么?实际上主要用于芯片制造的等离子蚀刻,主要用于硅二氧化硅,氮化硅、磷硅玻璃以及薄膜材料的蚀刻,...