国家重点研发计划“X射线衍射光谱与成像纳米器件及集成基础研究

11月17日,国家重点研发计划“纳米科技”专项“X射线衍射光谱与成像纳米器件及集成基础研究”项目启动会在中科院微电子所召开。科技部基础研究管理中心领导,项目咨询专家,项目首席、中科院微电子所所长叶甜春及项目组科研骨干参加了启动会。

会上,叶甜春对基础研究管理中心和咨询专家的大力支持表示感谢,代表微电子所向项目咨询专家颁发聘书,并汇报了项目的总体情况和实施方案,指出该项目针对同步辐射和激光聚变等重大领域X射线衍射光谱与成像需求,以微电子制造技术为基础,从机理及调控设计、光刻及刻蚀、器件集成、微纳结构检测及可靠性分析、性能测试、系统应用等层面开展前沿创新性研究,实现高分辨、高衍射效率、高信噪比X射线衍射光谱与成像纳米器件技术的突破,形成自主知识产权和标准化,引领和支撑我国X射线衍射光谱与成像纳米器件的发展。

与会专家对项目布局给予充分肯定,指出项目课题设置包括设计、制造、测试和应用等全链条内容,符合“纳米科技”专项的总体思路,并对项目的具体实施提出了宝贵意见和具体要求,希望项目能够取得优异科研成果。

国家重点研发计划“X射线衍射光谱与成像纳米器件及集成基础研究

会议现场

国家重点研发计划“X射线衍射光谱与成像纳米器件及集成基础研究

与会专家合影

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