诺联芯电子MEMS技术经理俞骁和苏州MEMS中试平台技术总监马清杰详解MEMS制造工艺

学员深入产线，实况感受，现场学习



7月14日上午由中科院声学研究所副研究员汤亮老师和无锡中微掩模电子有限公司副总尤春老师为大家带来了特殊薄膜工艺技术和掩模板制造工艺课程。汤亮老师在多个射频MEMS及声学MEMS项目中积累了压电薄膜生长工艺的丰富经验，从压电效应原理、压电MEMS器件、压电薄膜制备工艺、压电MEMS器件应用案例四个方面入手进行了详细讲解。尤春老师为大家详细呈现了掩模板的制造过程，并带领大家到无锡中微掩模的产线实地参观，对掩膜版的制造流程、设备、产线防静电控制和颗粒控制、交期等各个方面进行了现场讲解，学员们都表示收获不小。

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