据麦姆斯咨询报道，等离子蚀刻、沉积和特种半导体器件先进封装设备全球领先制造商Plasma-Therm，近日宣布成功收购法国等离子加工设备供应商CORIAL，收购交易金额暂未披露。

Plasma-Therm深硅刻蚀（Deep Silicon Etch?）设备在MEMS/NEMS领域的应用

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