台积电|1nm光刻机!荷兰科技巨头传来新消息,台积电“喜从天降”


台积电|1nm光刻机!荷兰科技巨头传来新消息,台积电“喜从天降”
文章图片

台积电|1nm光刻机!荷兰科技巨头传来新消息,台积电“喜从天降”
文章图片

台积电|1nm光刻机!荷兰科技巨头传来新消息,台积电“喜从天降”

如今 , 芯片制程工艺已经来到了5nm , 而三星、台积电还在继续向着更高制程的3nm与2nm推进 。 但是 , 受到摩尔定律影响 , 想要继续向前推进 , 难度将翻倍提升 。

如今有不少半导体公司认为 , 摩尔定律已经走到了尽头 , 或因成本成本太高 , 而放弃了工艺小型化 。 不过 , 身为全球第一大光刻机巨头的ASML , 却没有停下前进的脚步 。
11月18日 , IMEC公司首席执行官Luc Van den hove带来了一个振奋人心的消息 。 他表示 , IMEC在与ASML的紧密协作之下 , 成功实现高NA EUV光刻技术商业化 , 此为下一代高分辨率EUV光刻技术 。
同时 , IMEC还展示了3nm、2nm、1.5nm与1nm以下的小型化线路图 。
IMEC还表示 , 作为NXE:5000系列的高NA(NA=0.55)EUV曝光系统的基本设计 , ASML已经完成 , 到2022年时其将启动商业化计划 。
目前EUV光刻机的NA=0.33 , 而2nm以后则需要NA=0.55 。 这表示 , ASML的更高精度光刻机有了重大进展 。
与当前光刻机相比 , 下一代光刻系统将会十分巨大 , 这是因为其光学系统将会更大 。
通过IMEC首席执行官的介绍来看 , ASML对下一代光刻机已经有了完善的规划 , 1nm , 甚至亚1nm光刻机离众人已经越来越近 。
【台积电|1nm光刻机!荷兰科技巨头传来新消息,台积电“喜从天降”】ASML的这一好消息 , 对正在努力攻克更高精度芯片的台积电来说 , 可谓是“喜从天降” 。
在2020世界半导体大会上 , 台积电南京公司总经理罗镇球表态 , 台积电将继续推进芯片制程工艺 , 就算是到1nm , 摩尔定律仍将适用 。
而ASML光刻机的突破 , 将助台积电一臂之力 。
根据台积电当前规划 , 其将在2022年实现3nm芯片量产 。 而在2024年时 , 则要实现2nm芯片的量产 。
如今 , 台积电2nm制程已经有了重大突破 。 据悉 , 台积电2nm将采用GAA技术 , GAA的栅极对沟道的四面进行包裹 , 从而令源极和漏极不再和基底接触 。
GAA有着性能强、功耗更低的优势 , 不过 , 其也将带来成本的提高 。 据悉 , 5nm工艺成本为4.76亿美元 , 而3nm GAA成本则将突破5亿美元 。
最终 , 台积电能否克服重重困难 , 成功将工艺节点推进至2nm , 十分值得期待 。
如今 , 台积电与三星之间的竞争尤为激烈 。 三星为超越台积电 , 坐上老大的位置 , 可谓是卯足了劲 , 但台积电也不甘落后 。 当前 , 二者的竞争十分胶着 , 最终 , 谁能赢得先机 , 十分令人期待 。
文/BU 审核/子扬 校对/知秋