可将DUV光刻机卖给中国?网友:没什么用
引言正当国内网友为华为先进芯片不能再生产而焦急时 , 有消息传来 , 光刻机巨头ASML表态可将DUV光刻机卖给中国 。 这对于急需发展高端制造的我们来说 , 确实是个好消息 , 但亦有网友表示 , DUV光刻机没什么用 , 因为我们当前最需要的是要能生产最先进芯片的光刻机EUV 。
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DUV与EUV的区别要了解DUV和EUV , 首先是要了解一个光学的名词“线宽” , 专业来说就是Mask Pattern投影到Wafer上的Overlay线宽度 。 它是光刻机镜头成像分辨率的一个指标 , 要实现能制造更高端的芯片 , 就得提升线宽 , 简单来说 , 线宽其实就是指芯片制造工艺的制程 , 比如5nm工艺制程的麒麟9000 , 就是指其用的线宽是5nm 。 而DUV是指深紫外光 , 其波长是193/157nm,EUV则是极紫外光 , 其波长为5-30nm , 而使用更短的波长 , 其制造工艺则更高端 。
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国内光刻机制造情况在国内光刻机制造方面 , 目前有能力生产90nm光刻机的是上海微电子, 最新消息显示 , 到2021年 , 上海微电子将能生产28nm的光刻机 , 虽然距离国际先进的5nm光刻机还有一定差距 , 但这一差距正在缩小 , 而有信息显示 , 上海微电子生产的光刻机 , 占据着国内80%的市场份额 , 可见上海微电子在国内高端制造技术的地位 。 光刻机作为当前最高端制造技术的机子 , 其涉及的技术与零部件并不是一个国家能全做得到的 , 它其实是人类科技的集大成者 , 所需的技术或零部件 , 需世界各国的相关公司共同协作攻关 , 才能真正造得出来 。
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结语【可将DUV光刻机卖给中国?网友:没什么用】ASML允许向中国出口DUV光刻机 , 这其实是受到了我国市场的影响 , 有资料显示 , 我国的光刻机需求市场 , 在2019年占据了ASLM营收业绩的21% , 而ASML在我国的21个城市均设有办事机构 , 这也可以看我国市场对于ASML的重要性 , 而ASML的决定 , 对于上海微电子来说并不是好事情 , 毕竟 , 我们国内最需要的是EUV光刻机 , 而对于DUV光刻机 , 我们自己都能造 。
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