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众所周知 ， 制造芯片最大的困难是光刻机工艺水平 。 在此之前 ， 光刻机领域一直是ASML一家独大 ， 特别是浸没式光刻 ， 只有ASML和尼康掌握了这项技术 ， 即便是后续有其他企业加入竞争 ， 也非常难 。

但是很多人不知道的是 ， OLED面板领域也同样面临着诸如此类的困境 。 中国作为面板需求大国 ， 一直以来都依赖日韩进口 。 真空蒸镀机是制造OLED的关键器件 ， 是OLED屏生产过程中难度最高的环节之一 。
中国虽然在这几年掌握了面板制造技术 ， 但是在新一代的OLED面板上还和韩国三星有一定的差距 ， 其中之一的原因就是中国无法获取到足够的高端真空蒸镀机 。

全球高端的真空蒸镀机掌握在佳能特机株式会社手中——一个只有300多名员工的“小公司” ， 其制造出的设备一台能卖到1.14亿美元 ， 相当于人民币7.6亿 ， 而且一年目前只能生产7台 ， 向三星等大企业供货 。
业内人表示 ， 佳能特机株式会社最厉害的在于有机发光材料蒸镀过程 ， 其细节误差控制在5微米内 ， 这相当于一根头发直径的5% ， 目前没有公司能达到这个精度 。 因此 ， 这么一个“小公司”仍主宰着整个OLED产业链的发展 。

近年来 ， 中国在真空蒸镀机的研发上 ， 花了很多心思 。 终于功夫不负有心人 ， 我国合肥欣奕华智能机器有限公司 ， 成功开发首台硅基OLED蒸镀机 ， 这对我国来说是一个非常大的突破 ， 标志着我国泛半导体产业核心工艺装备实现自主化 。

该公司通过借鉴日本公司蒸镀机的相关设计 ， 对蒸镀机的核心技术——蒸发源设计和对位技术进行二次创新和改进 。 要知道这两个技术是蒸镀机的核心技术 。 之后又通过科研技术上的不断努力 ， 进一步攻克了硅基OLED蒸镀机膜厚等一系列技术难题 ， 而且 ， 在设备匹配上 ， 还能与AR、VR实现完美契合 。

之所以能取得这样的突破 ， 是因为中国吸取了光刻机被卡脖子的教训 ， 提前布局 。 通过OLED面板生产链上下游通力合作 ， 众多相关专家进行深度研究 ， 终于打破国外高端蒸镀机的垄断 。
【光刻机|比光刻机还难的大国重器，全球排队向日本求购，我国终于打破垄断】现如今 ， 合肥欣奕华智能机器有限公司已经实现了OLED对位系统和蒸发源、真空腔室、工艺控制这四项核心技术的自主研发权 ， 其技术已经达到世界领先的位置 ， 推动了中国蒸镀机产业的进步 。

稿源：(未知)

【傻大方】网址：/c/1124a31U2021.html

标题：光刻机|比光刻机还难的大国重器，全球排队向日本求购，我国终于打破垄断