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光刻机|ASML再次公开表态，中芯国际DUV光刻机却未到，背后原因值得深究

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由于全球缺芯问题的持续，全球各大晶圆制造厂商纷纷计划扩大产能，这让光刻机的需求不断增加，荷兰ASML因此营收、利润双双大涨。不过大家有没有注意到，关于向我国出货光刻机，距之前ASML总裁四次表态后再无消息。如今，消息再次传来。

ASML再次公开表态
近年来，我国对半导体设备的需求增长迅速，去年已经成为全球最大的半导体设备市场。这些设备包括晶圆加工、封装、测试及其他前端设备，最重要的、也是需求最大的当属光刻机。而面对我国这样的全球最大的市场需求，荷兰ASML当然也非常重视。
于是， ASML方面之前曾连续四次公开表态。第一次表示会加快布局我国市场，提供更加完善的售后服务。第二次直接表示向国内厂商销售DUV光刻机，不需要许可。第三次直接提高了对我国市场的营收预期。第四次表示向我国出售光刻机持开放态度。

这个第四次表态，已是ASML去年参加上海进博会时的表态了，之后再无其他有关消息。只是看到，最近ASML向上海科普教育发展基金会捐赠50万元，并赞助了第十八届上海未来工程师大赛。昨天， ASML再度亮相上海进博会，就光刻机再次表态。
这次表态的是ASML全球副总裁、中国区总裁沈波，他表示向我国出口集成电路光刻机持开放态度，在法律法规框架下全力支持。不过， EUV光刻机依然无法出货给大陆客户，但除此之外其他产品都可以出货。也就是说， DUV光刻机不受其他限制。

DUV光刻机却未到货
从ASML的这次表态来看， EUV光刻机依然没有希望，这个消息再次令中芯国际失望。要知道中芯国际在三年前就花1.5亿美元，跟ASML订购了一台EUV光刻机，原本应该于2019年初就交货，但由于美方阻挠， ASML拿不到许可证，至少未交付。
鉴于目前的形势，中芯国际对EUV光刻机的消息，应该也在预料之中，好在还可以获得DUV光刻机。并且在今年3月初，中芯国际还宣布和ASML签订了延长采购协议至今年年底，协议总价为12亿美元。这个金额，应该可以购买几十台DUV光刻机。

这样， DUV光刻机应该没有问题了。也正是因为这个晶圆制造最重要的设备有底了，中芯国际才开始大举扩产，连续三次加码28nm及以上成熟产能，投资497亿元在北京建厂后，又投资23.5亿美元在深圳建厂，后又投资88.7亿美元在上海建厂。
加上这次ASML的最新表态，按说DUV光刻机能够如期到货。但问题是，据某媒体报道，目前中芯国际跟ASML续签的这个订单的DUV光刻机还没有到货。并且随着采购协议的最后期限临近，恐怕这笔订单将要跳票，从而危及中芯国际的扩产计划。

背后原因值得我们深究
【光刻机|ASML再次公开表态，中芯国际DUV光刻机却未到，背后原因值得深究】不过，这个中芯国际跟ASML订单的DUV光刻机至今没有交付，这个消息是否属实还没有官方消息。当然，我们也没有得到中芯国际DUV光刻机到货的消息。那么，如果DUV光刻机没有如期到货，而ASML表态又不受限制，到底会是什么原因呢？
但ASML全球副总裁、中国区总裁沈波这次表态时谈到，由于全球缺芯导致的光刻机需求增大，虽然ASML已经在尽力扩大产能，但依然不能满足用户需求。并且由于涉及的几千家配套供应商只能提供85%的零部件，因此有的产品交付期甚至要翻倍。

这意思就是说，光刻机的订单太多， ASML虽能扩大产能，但供应商的配套部件跟不上，导致光刻机交货期也得延长。这也许是中芯国际订购的DUV未能如期交货的原因之一，但应该不止这个原因，仔细想一想，美方阻挠或许是光刻机未交货的另一原因。
要知道，中芯国际也被美列入了实体清单，进行出口管制，禁止向中芯国际出口可用于10nm以下先进制程的设备。后来因为缺芯，又放开了中芯国际14nm及以上成熟制程设备的许可。但之后，又有美议员建议，希望阻止ASML出售DUV给中芯。