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如今全球芯片紧缺的问题相信对科技领域有所关注的人多少都知道 。 光刻机可以说是芯片制造最关键的设备 , 尤其是对于7nm以下制程的芯片来说 , 没有EUV光刻机想要生产出来基本上是无法实现的 。
说到光刻机 , 那就不得不提到光刻设备龙头企业——ASML了 。 作为全球顶尖的光刻机设备制造厂商 , ASML在光刻设备市场上占据超过75%的市场份额 。 由于EUV光刻机供应链的特殊性 , EUV光刻机更是只有ASML能制造出来 。
在全球芯片紧缺的情况下 , ASML自然成为各大半导体生产制造商的头号合作者 。 尤其是台积电 , 作为全球规模最大的晶圆代工厂 , ASML每年产出的光刻机至少有一半的产能都是优先提供给台积电 。
我国EUV光刻机进口受限但遗憾的是 , 到目前为止 , 我国仍然未能得到一台EUV光刻机 。 早在四年前 , 我国半导体企业中芯国际就曾耗资10亿人民币向ASML订购了一台EUV光刻机 , 但由于老美的不断阻挠 , 三番四次地修改“芯片规则” , 以及“瓦纳森协议”的限制 , 这台光刻机直到现在还无法在我国境内落地 。
尤其是随着我国科技水平的不断进步 , 华为等我国企业在科技领域的不断突破 , 老美对我们越来越忌惮 , 对我国企业的打压越发变本加厉 , 对ASML等国际高科技企业的限制就越发严格 。 不仅ASML无法对我国出货EUV光刻机 , 诸如台积电等运用到美技术的企业也无法对我国提供先进的技术服务和零部件 。
面对老美的全面技术封锁 , 我国众多半导体相关企业和科研机构也加快了在半导体领域的布局 。 在国家的扶持下 , 我国在半导体设备、芯片工艺方面都有了不小的进步 。 如在物镜、双工作台、光学曝光系统等方面都取得了技术性的突破 。
为了加快我国在半导体设备上的进展 , 我国中科院还组织了科研团队前往ASML的荷兰总部进行学习 , 没想到却招来ASML高层的嘲讽 , ASML首席执行官Peter Wennink就曾说过:即使把光刻机的设计图纸给你们 , 你们也造不出光刻机 。
制造光刻设备所需氖气供应紧缺ASML之所以能形成EUV光刻机制造的垄断事实 , 是因为制造一台光刻机所需的重要零部件就高达十多万种 , 还有多种特殊惰性气体 , 如氖气一类的电子特气 。 涉及的供应链就遍布全球四十多个国家 , 超过5000家供应商 , 如此强大的供应链整合能力目前还没有哪家企业能做到 。
此外 , EUV光刻机的研发也是ASML公司和供应链厂商共同完成的 , 哪怕是ASML公司也只掌握了20%的技术专利 , 这也是为何世界上无第二家企业能造出EUV光刻机的重要原因 。
氖气一类的电子特气作为光刻机制造必不可少的惰性气体 , 少了它 , 光刻机的光源便很容易出现故障 。 但由于如今不可抗的地缘因素再加上公共卫生问题 , 作为全球最大氖气生产国的乌地区两大氖气生产商相继宣布暂停运营 , ASML的氖气供应进入了紧急状态 。
【光刻机|ASML公开发话,外媒:用EUV光刻机换】全球有50%以上的氖气供应来自乌地区和Cryoin公司和ingas公司这两大气体加工厂 , 但现在这两家公司已宣布暂停运营 , 就等于全球的氖气供应来源少了一半 , 早先就有消息成ASML正在紧急需找氖气供应替代商 , 现在看来消息是属实的 。
此外 , 乌地区虽然是世界上最大的氖气加工地 , 但它的氖气基本上是俄地区提供的 , 在地缘因素的影响下 , 现在俄地区也不再向其提供氖气, 再加上由于“断供”问题 , 俄地区颁布了新的规定 , 限制了气体出口 , 其他美企或“断供”相关企业想要从俄地区进口特殊气体也是难上加难 。
事实上 , 我国在氖气等电子特气的加工方面技术已经相当成熟 , 不仅能满足国内生产需求 , 还有余力出口 , 之所以没能进入国际市场 , 是由于早先乌地区已经率先进入市场 , 我国要再进入实属困难 。 如今乌地区供应不暇 , 正好为我国的电子特气企业提供了机会 。 根据数据显示 , 我国氖气产量达到了48.7万m , 与14年相比增幅高达624% 。
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