刻蚀机|台积电美国工厂将导入设备,这一次轮到美国离不开中企了

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如果是对光刻机有研究的人就知道 , 顶级的EUV光刻机可以用于生产5nm等高端芯片 , 一台价值上亿美元 。
台积电位于美国的5nm工厂就会用上EUV光刻机 , 除此之外 , 也离不开中企刻蚀机 。 这一次 , 轮到美国依赖中企了 。
那么什么是刻蚀机呢?中企的刻蚀机对美国建厂有多重要?

01荷兰有光刻机 , 中国有刻蚀机
一条高端芯片生产线牵涉到全球几千亿美元的产业价值 , 甚至更多 。 就拿台积电在美国建设5nm芯片工厂来说 , 需要用上各种高端半导体设备 。
这些设备的背后如果算上研发费用 , 生产制造的产业链 , 形成的产业规模恐怕足以媲美很多国家一年的GDP 。 台积电在美国投资120亿美元建厂 , 其中建设基础设施最多只要十几亿美元 , 更多的钱其实花在了购买各种高端半导体设备 , 比如光刻机 。

荷兰ASML公司是全球光刻机霸主 , 垄断中高端光刻机100%的市场份额 , 只要产出EUV光刻机 , 立马就被抢购一空 , 不存在堆积库存的情况 。
在过去二十年里 , ASML投入了近千亿元人民币 , 参与EUV光刻机的研发 , 再加上从全球各国采购顶级EUV光刻机零部件 , ASML在EUV光刻机身上花的钱不计其数 。 一台EUV光刻机的售价十分昂贵 , 但它的研发更加困难 。
因为掌握了EUV光刻机的量产能力 , 所以ASML站在了全球半导体制造业的金字塔顶端 。 只不过美国不允许ASML随意出货EUV光刻机给大陆客户 , 但其实大陆也有重要性不输给光刻机的半导体设备 , 且工艺制程达到了5nm , 它就是刻蚀机 。

荷兰有光刻机 , 而中国有刻蚀机 , 二者的地位可以说是并列的 。 中国研发刻蚀机的厂商主要有中微半导体和北方华创 , 而中微半导体的刻蚀机已经能用于5nm生产线 。 根据媒体消息 , 中微5nm刻蚀机会在下半年发往台积电美国工厂 。
能进入台积电5nm生产线说明中微的刻蚀机不简单 , 那么什么是刻蚀机呢?掌握5nm刻蚀机制造技术的中微半导体 , 又是什么来头?

02什么是刻蚀机?
在芯片制造的过程中 , 光刻和刻蚀的两大步骤都需要这两种设备来完成 。 光刻机用类似照相机的原理 , 将设计好的芯片线路图投影在晶圆表面的光刻胶中 。
光刻胶发挥保护基底的作用 , 并且能够将芯片的线路图进行显影 , 这时候刻蚀机需要沿着光刻好的芯片线路 , 将这些线路图像刻在晶圆当中 。

用通俗一点的说法就是 , 光刻机负责形成轮廓 , 刻蚀机负责把轮廓的形状刻出来 。 就好比雕刻师 , 想要在物体上雕刻出自己想要的形状 , 肯定需要先在物体周围画上形状的样子 , 然后再用雕刻工具完成作业 。
因此光刻机和刻蚀机是芯片制造过程中最重要 , 也是最关键的环节 , 如果没有这两个步骤 , 芯片将无法形成 , 更别说造出来了 。

中微半导体的刻蚀机能达到怎样的“雕刻”水准呢?这么说吧 , 中微5nm刻蚀机能够在头发丝直径万分之一的面积上 , “雕刻”出六十层“房子”的水平 。 这已经是全球顶级的水准了 , 也让中微半导体跻身全球一线刻蚀机供应商队伍中 。
而说起中微半导体的来头 , 同样不简单 。 这家公司成立于2001年 , 是全球刻蚀机行业的主要推动者之一 。 曾被美国众多半导体巨头起诉专利侵权 , 却找不到任何证据而赢得胜诉 , 这无疑奠定了中微半导体自研实力的夯实基础 。
【刻蚀机|台积电美国工厂将导入设备,这一次轮到美国离不开中企了】
03中企刻蚀机对美国建厂有多重要?
美国邀请台积电修建5nm工厂 , 这座位于美国亚利桑那州的工厂已经完成了上梁仪式 , 将在下半年导入设备 , 采购光刻机 , 刻蚀机等产品 。