极紫外光刻|意料之中，中芯国际购买EUV光刻机再遭美国禁止光刻机

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据《华尔街日报》报道， EUV光刻机是荷兰阿斯麦公司的独家产品，英特尔、三星和台积电都使用它制造各类型芯片，我们也希望国内芯片制造商能使用这款售价1.5亿美元（2亿新元）的机器，以便华为等中国科企能减少对外国供应商的依赖。但在美国的施压下，阿斯麦至今没有向中芯国际销售过一台EUV光刻机，三年前付钱买的EUV光刻机，至今未发货。

【极紫外光刻|意料之中，中芯国际购买EUV光刻机再遭美国禁止】

EUV光刻机可以用于生产7nm及以下制程芯片，而针对国内出口许可（荷兰方面），早在2019年就已经不再新增了，所以获得EUV光刻机的可能性越来越低。而对ASML来说，本身供不应求，国内厂商贡献的营收不过占它总营收的10% ，因而有些有恃无恐。但是也担心我们真的自研出光刻机来，跟他打擂台，因而又有些小焦虑，反映到具体层面，就是其CEO的话偶尔听起来有些矛盾。

目前，国内专家以及相关机构着眼于成熟制程。成熟制程至少在2030年以前，依旧有大量市场需求，并且是我们最有可能替代成功的工艺，可以说着眼于成熟制程，相当务实。

除了成熟制程，个人以为，还是要探寻其他路径，比如先进封装，比如挖掘DUV光刻机应用，尽量把替代范围拉到先进制程，这样才会让ASML等厂商不那么有恃无恐。