光刻胶|国产光刻胶任重道远北京市

【光刻胶|国产光刻胶任重道远】

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现在看来晶圆制造阶段性最短的板是光刻胶。近日来日本连续地震，光刻胶供应雪上加霜。记得去年2月份福岛县发生强震，就导致信越化学的光刻胶产线破坏，产量递减。今年又是福岛宫城受影响较大，东芝索尼富士通瑞萨nec的厂都在那边，除了半导体材料，车规mcu 功率 cis 以及传感器都大受影响。

今年还有一个因素信越本身是对国内的fab厂减少光刻胶供应。此前据外媒报道，由于没扩产跟不上供给，日本信越已经向中国大陆多家晶圆厂限制供货KrF光刻胶，信越把除了中芯，华虹之外，其他fab比如创新中心，京城，燕东，芯恩，集电的订单都砍了，甚至中芯交付都有些困难。信越已经答应台湾客户今年会在台湾扩产，但是仅供台湾客户。
半导体材料日本全球独大，我国国产替代任重道远。主要是我们起步晚，好多材料技术要求高，而且非常昂贵，一般厂商没有动力冒险使用小生产商的产品。国产材料缺乏验证资源，因为这相当于客户被迫分担成本了。

与生产芯片另一种关键材料——硅片占据芯片成本的40%相比，光刻胶只占5% 。但光刻胶作在很大程度上决定了芯片的集成度。
光刻胶与光刻机一样，按照光源分为 G-line 波长436 ， i-line波长365nm ， KrF波长248nm ， ArF 波长193nm ， EUV波长13.5nm 。不同制程所用的光刻胶也不同。
g/i线光刻胶：彤程新材和晶瑞电材可以量产，上海新阳正在研发。
KrF光刻胶：只有彤程新材可以量产，上海新阳已经通过客户验证，晶瑞电材正在客户验证。
ArF光刻胶：只有南大光电通过客户验证，其它正在研发，或者验证阶段。
EUV光刻胶：只有彤程新材在研发，且已经通过02专项验收。

彤程新材是全球领先的酚醛树脂供应商，光刻胶是酚醛树脂的高端运用领域。公司与2021 年收购北京科华，北京科华是唯一被SEMI列入全球光刻胶八强的中国光刻胶公司。是目前国内唯一可以批量供应 KrF 光刻胶给本土8 寸和 12 寸的晶圆厂客户的企业。
2009年，北京科华建成了我国首条G/I线光刻胶生产线，目前仍是北京科华的营收主力，在国内市场占20%份额。
科华在2012年建成了国内首条KrF光刻胶产线，供给本土8寸和12寸的晶圆客户。直到2021年才由于福岛地震，实现了初步的批量进口替代，是唯一可以批量供应KrF光刻胶给8寸和12寸客户的本土光刻胶公司，但其KrF光刻胶在市场上的份额仍不足5% 。北京科华的客户包括中芯国际、华力微电子、长江存储等。目前，北京科华有i线光刻胶500吨/年、KrF光刻胶10吨/年的产能。

2018年，由中国科学院化学研究所、中国科学院理化技术研究所、北京科华微电子材料有限公司联合承担的， “极紫外光刻胶材料与实验室检测技术研究”通过验收。
彤程新材在上海建设年产1千吨半导体光刻胶、1万吨平板显示用光刻胶、2万吨配套试剂的生产线，预计2022年内开始分批投产。 ArF高端光刻胶研发平台，预计2023年末建成。
旗下北京科华光刻胶获得长江存储、中芯北方、华虹半导体、上海集成电路研发中心、合肥长鑫、芯恩（青岛）、广州粤芯、厦门士兰集科等用户订单。北京北旭显示面板用光刻胶在京东方占有率达 45%以上。并覆盖 TFT-LCD 面板所有层，预计 2021 年全年出货将超过 3000 吨。
2021年，南大光电发布公告称，该公司承担的国家02专项ArF光刻胶项目通过专家组验收，已建成年产25吨产业化基地。