飞利浦·斯塔克|ASML:中企开始说再见了

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ASML原本并不是一家在全球都引人注目的企业 , 一方面是因为 , 光刻机并不是一个受到普罗大众关注的产品;另一方面 , ASML也并非一直都是光刻机龙头 。

ASML的崛起 , 与EUV光刻机有着直接的关系 , 此前的光刻机龙头一直都是尼康和佳能 。
即便到目前 , 抛开EUV光刻机 , 尼康仍然是ASML的强大竞争对手 。

由于受到老美修改芯片规则的影响 , ASML迟迟不向中企出货EUV , 但为了保住市场份额 , ASML一直表示其他产品不受影响 。
不过ASML也发现 , 其实中企已经开始说再见了 。
例如就在近日 , 我国光刻胶研发生产企业苏州瑞红 , 为了加快KRF光刻胶的量产 , 就购入了一台KRF光刻机 , 但是它并不来自ASML , 而是尼康 。

其实在去年的时候 , 中企在采购光刻机上 , 甚至开始关注二手产品 , 例如当时佳能的一款二手光刻机 , 价格就翻了十几倍 。

就在上个月 , 南理工的一个光刻机采购项目公布结果 , 在中标候选人中 , 同样没有ASML的身影 。

当然 , ASML除了拥有光刻机 , 其实还有其他的产品 , 例如同样非常重要的工艺检测设备 。

工艺检测设备虽然并不像光刻机那样出名 , 但是在芯片制造的前道和后道程序中都有涉及 , 而且是提升芯片制造良率的关键环节之一 。

一般而言 , 研发制造光刻机的企业 , 都会在提升芯片制造良率方面研发对应的产品 , 工艺检测设备就是其中之一 。

不过就在前段时间积塔半导体的招标中 , 共计4台工艺检测设备 , 我国上海微电子独家中标 , ASML空单了 。
而提升芯片良率 , 还有其他的办法 ,例如关键尺寸量测设备、电子束量测检测设备、计算光刻技术等 。

其中在上个月 , 中企采购了两台国产电子束量测检测设备 , 在4月份 , 燕东微电子也采购了1台中企生产的8英寸关键尺寸量测装备 。

它们都来自东方晶源 , 此外东方晶源的计算光刻产品 , 也已经进入了中企芯片厂的供应链当中 。
所以我们就看到 , 在ASML的所有产品线上 , 中企都有了更多的选择 , ASML已经不是唯一供应商 。
而在ASML最关键的光刻机产品上 , 近日ASML方面也不再遮遮掩掩 , 直接表示 , 三年之后 , 即到2025年 , ASML的光刻机将会供过于求 。

这种结果其实并不意外 , 应该说是在情理之中 , 因为中企也不例外 , 都要保证供应链的稳定和安全 。
所以拓展更多的供应商是必然的结果 , 而ASML的选择性供货 , 自然就更加剧了中企远离的步伐 。
事实上 , 光刻机市场的格局也在快速发生着变化 , 一方面我们国产光刻机 , 短期看在冲击高端DUV型号 。
业界人士预计 , 在5年左右 , 我们有望实现10纳米左右的工艺 , 10纳米其实是一个关键节点 。

因为如果具备了10纳米工艺技术 , 就意味着可以解决95%的芯片制造 。
另一方面 , NIL光刻机技术、直写光刻机技术以及我们自研EUV光刻机技术 , 都在快速发展 , 无论是短期还是中长期来看 , 都可以实现对ASML的替代 。
这意味着 , 中企的选择还会更加多样性 , 现在说再见 , 就只是一个开始而已 。
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