所以不是我们进步太慢 , 而是我们选择了跨越式发展 , 因为情况不一样了 。
当年的市场需求 , 使得ASML可以一点一点升级产品 , 但是现在 , 我们就需要跨越式发展 。
而且从市场需求来看 , 浸没式光刻机 , 也就是ARFI光刻机 , 也比ARF光刻机的需求大得多 。
目前我们在光源和浸没系统上都已经完成 , 只剩下镜头 , 也就是光学曝光系统 , 国望光学作为我们国产光刻机镜头的供应链企业 , 已经表示明年交付28纳米及以下工艺产品 。
这就意味着 , 我们国产28纳米光刻机将很快出现 , 也标志着国产DUV光刻机最为艰难的“三座大山”被全部解决 。
这将可以直接生产14纳米芯片 , 而后续光刻机支持7纳米甚至5纳米 , 其实都可以快速推进 。
是得 , 不是只有EUV光刻机才能生产5纳米芯片 , DUV光刻机也可以 , 而且即便采用EUV光刻机 , 也需要DUV光刻机配合 , 并非生产先进工艺芯片 , 全部是由EUV光刻机来完成 。
而之所以在7纳米之后选择了EUV光刻机 , 是因为EUV光刻机能让芯片代工厂赚更多的钱 。
实际上早在10纳米工艺上 , ASML就量产了EUV光刻机 , 但是代工厂没用 , 因为不划算 , 直到在第二代7纳米工艺 , ASML算是赶了上来 。
之前世界第四大芯片代工厂格芯总裁就说过 , 如果用DUV光刻机生产5纳米芯片 , 那么将会曝光一百多次 。
是的 , DUV光刻机也能生产先进工艺芯片 , 就是步骤多一些 , 但是如果控制好良率 , 也没有什么问题 。
这或许也是ASML之前在没有任何证据的情况下 , 就指责东方晶源侵权的原因 , 因为东方晶源提供的计算光刻、EBI和CD-SEM产品 , 就是为了提升良率 。
因此一旦我们国产28纳米光刻机实现量产 , 鉴于当下中芯国际的运营情况 , 实现国产替代ASML是没有问题的 。
而且从时间上来看 , 正好符合中芯国际对14纳米工艺的扩产时间点 。
不仅如此 , 我们注意到 , ASML在进入该节点后 , 基本上每相隔两到三年 , 会更新其ARFI光刻机 。
由于ARFI光刻机三大难题已经攻破 , 所以后续的升级 , 与ASML就没有太大区别 , 因此时间节点上也会比较接近 。
而这也正好符合中芯国际后续的工艺发展步骤 , 因此当我们国产28纳米光刻机量产后 , ASML的产品将会迅速被替代 。
这里不仅指中芯国际 , 而是代指所有的中国芯片厂商 , 都会更愿意选择国产光刻机 。
要知道 , 光刻机是一种特殊设备 , 不是设备投入生产就结束了 , 后续还需要生产商提供大量的售后服务 。
所以说 , 即便我们买回来ASML的光刻机 , 但是后续还需要依赖它提供的售后服务 , 如果在售后方面停止服务 , 那么当设备出现问题 , 也将无法解决 , 再先进的设备 , 也就成了摆设 。
因此如果有国产产品 , 自然国产产品要更受青睐 , 尤其是在当下这样的大环境下 , 大家都担心供应链安全问题 。
而且根据之前中科院方面的表示 , 要在十年内解决卡脖子的光刻机问题 , 而卡脖子的就是EUV光刻机 。
所以按照这个时间点来计算 , 当我们的DUV光刻机发展到7纳米时 , 正好与中科院解决EUV光刻机的时间点相贴合 。
实际上 , 在DUV光刻机上 , 其中关键的曝光系统 , 其主要技术支撑团队也是中科院 , 包括中科院长光所和上光所 。
因此我们国产光刻机进入28纳米是一个关键节点 , 这就意味着对ASML将不是刚性依赖 , 因为国产产品已经可以满足量产的生产需求 。
而后续的发展 , 将会与芯片代工厂的发展同步 , 那么对ASML的需求就更小了 。
这里可能会有朋友提出反驳 , 但是我们不妨换个角度来看 , 就拿中芯国际来说 , 其7纳米技术已经开发完成 , 但为什么我们迟迟看不到中芯国际生产的7纳米芯片呢?
而且其N+1工艺的芯片在市场上也很少 。
要知道 , 中芯国际是可以采购ASML的DUV光刻机的 , 它可以用于生产N+1工艺和7纳米工艺 。
这也就是为什么说 , 我们国产光刻机的后续研发 , 是可以匹配国产芯片工厂的量产进度的原因 。
同时 , 也是在说明 , 我们后续对ASML的需求将极大减弱 , 因此 , 28纳米光刻机 , 将会是一个历史转折的标志性事件 , 我们拭目以待 。
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