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ASML
已经过去的2021年对于光刻机巨头ASML来说无疑是十分成功的一年 , 营业收入达到186亿欧元 , 净利润为59亿欧元 , 毛利率为52.7% 。 随着芯片需求的迅猛发展 , ASML对于2022年的形势更是看好 , 提出销售额增长20%达到223亿欧元的目标 。
但是最近ASML的一系列做法特别是拒绝销售EUV光刻机的选择让其逐步陷入了争议之中 , 特别是在国产光刻机下线在即 , 俄罗斯和日本也先后决定推出新型光刻机的时刻 , ASML或许不再是必须的存在 。
俄罗斯开始研发X射线光刻机
俄罗斯决定绕开EUV光刻机第一个站出来抛弃ASML是俄罗斯 。 由于ASML选择断供 , 因此俄罗斯也终于做出艰难的决定——那就是开始自研先进光刻机 。 得益于以往技术的积累 , 俄罗斯选择了一条不同于EUV(极紫外线)的X射线路线 。
从光源上来看 , EUV(极紫外光)的波长为13.5nm , 而X射线的波长则介于0.01nm到10nm之间 , 因此理论上来说X射线同样也可以用在包括5nm及以下先进制程中;同时基于X射线制成的光刻机还有另一个显著的优点那就是可以直写光刻 , 因此可以通过节省掉光掩膜版明显减少成本 。
佳能将推出3D光刻机
日本也决定另起炉灶第二个表明放弃ASML的是日本 。 作为曾经的半导体以及光刻机大国 , 日本拥有尼康和佳能两大昔日的光刻机巨头 。 但是在半导体产业遭到打压之后 , 光刻机产业也随之衰落 。 面对困境佳能和尼康并没有放弃 , 终于历经10多年的努力研发出3D光刻机 。
不同于EUV光刻机 , 佳能推出的3D光刻机是通过改变光刻模式来挺高密度 , 进而实现更高性能 。 这也走出了一条不同于ASML的道路 , 随着量产的实现也将威胁到EUV光刻机的地位 。
EUV光刻机
国产也在积极替换ASML国内对于ASML的替换也正在逐步进行 。 其实对于EUV光刻机 , 国内芯片产业链一度抱着共同合作的态度 。 但是可惜ASML拒绝销售EUV光刻机 , 这也导致如中芯国际等芯片厂商卡在7nm工艺难以更进一步 。
正所谓长痛不如短痛 , 不管EUV光刻机再好用 , 性能再高级 , 不对我们出售那也就没有任何意义 , 所以越早替换ASML对于国产芯片产业链来说也就越好 。
上海微电子正在研发国产光刻机
【光刻机|盛极而衰:拒不提供EUV光刻机的ASML已经不再被需要】对于光刻机的突破也需要多个企业的合作才能完成 , 随着包括华卓精科在光刻机双工件台 , 北方华创在光刻机热处理设备 , 沈阳芯源在光刻机清洗设备 , 上海精测在光刻机量测设备等方向的突破 , 国产光刻机的突破也在迅速地开展之中 。
ASML将不再是必需品
是时候和ASML说再见了自主研发无疑是十分艰难的道路 , 但也是唯一的道路 , 随着ASML拒绝销售EUV光刻机 , 这也证明除了投入时间和精力进行突破之外已经没有第二条路可走 , 因此也是时候和ASML说再见了 。
随着越来越多的企业试图摆脱ASML以及EUV光刻机 , 情况已经越来越明显 。 光刻机不是第一个需要被突破的项目 , 当然也不会是最后一个 。 但就像高铁、大飞机、光伏等行业一样 , 只要下定决心去做终归会有成功的那一天 。
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