半导体|极具技术壁垒的5大“光刻气体”龙头:光刻技术的核心,潜力十足!

半导体|极具技术壁垒的5大“光刻气体”龙头:光刻技术的核心,潜力十足!

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半导体|极具技术壁垒的5大“光刻气体”龙头:光刻技术的核心,潜力十足!

近两年来 , 芯片制造是我国半导体行业发展的焦点 。 目前 , 制约我国芯片制造的 , 主要来自于高性能的光刻机 。
目前 , 中国不缺高性能芯片的设计能力 , 缺少的是高性能的光刻机 。 而光刻技术 , 则是光刻机发展的重要推动力 。 光刻技术在过去几十年的发展中 , 除了光刻机外 , 还包括光源、光学元件、光刻胶等材料设备 , 而这些都具备极高的技术壁垒 。
光刻核心设备的组件十分复杂 , 包括光源、镜头、激光器、工作台等 , 相关技术被全球少数几家公司掌握 。 配套的光刻胶、光刻气体、光掩膜等半导体材料和涂胶显影设备 , 同样具备极高的科技含量 。

因其高科技含量的属性 , 以致于没有任何一个国家任何一个公司 , 可以完整掌握整个光刻技术 , 这也给相关诸多厂商带来了发展机会 。
比如 , 美国90%以上的光刻气体——氖气 , 供应来自乌克兰;35%以上的钯来自于俄罗斯 。
随着俄乌战争局势升级 , 美国相关半导体材料供应链有被切断的风险 , 美国国家安全委员会官员正敦促美国芯片公司积极寻找这些材料的可替代来源 , 这也给国内相关光刻气体供应商带来了机会 。
什么是光刻气体?【半导体|极具技术壁垒的5大“光刻气体”龙头:光刻技术的核心,潜力十足!】光刻气体是一种稀有气体与氟之间的混合气 , 常见的光刻气体有:氩/氟/氖混合气、氪/氖混合气、氩/氖混合气、氩/氙/氖混合气等等 。
这些稀有混合气体在受到高压激发后会形成等离子体 , 在这个过程中 , 由于电子的跃迁 , 会产生固定波长的光线 。 这些光线经过聚合、滤波等过程 , 就变成了光刻机的光源 。
目前 , 乌克兰供应全球70%的氖气 , 40%的氪气和30%的氙气 。 其中 , 在ArF准分子激光器中使用的氩/氟/氖混合气体中 , 氖气占96% 。 而氪气主要应用于光刻制程 , 氙气主要应用于半导体刻蚀制程 。

5大“光刻气体”龙头华特气体
华特气体是我国唯一通过ASML公司认证的气体公司 , 主要供应光刻用的氪氖混合气、氟氖混合气等气体 , 产品获得了市场知名客户的广泛认可 , 解决了中芯国际、华润微电子、台积电(中国)、士兰微电子、柔宇科技、京东方等客户多种气体材料的进口制约 。
凯美特气
凯美特气是国内最大的食品级二氧化碳生产企业 , 供应相关稀有气体 , 包括氖、氪、氙及混合气体等 , 公司生产的电子特气达到国际水平 , 同时公司的部分电子特种气体产品可应用于第三代半导体 。
和远气体
国内知名节能环保型综合气体供应商 , 主要产品包括氩气、氢气、氦气、各类混合气、特种气等多种气体 , 拥有台基半导体、智瑞半导体、比亚迪等等一批优质合作伙伴 , 有望打破外资气体公司在光纤、半导体、医疗等领域对特种气体的垄断 。

金宏气体
金宏气体是国内知名工业气体供应商 , 主要为客户提供各种大宗气体、特种气体和天然气的一站式供气解决方案 。 能够为电子半导体、高端装备制造等行业客户提供特种气体 。 自主研发的超纯氨、高纯氧化亚氮、八氟环丁烷等 , 为电子半导体高端制造客户提供了新选择 。
南大光电
南大光电是国内光刻胶、电子特气龙头企业 , 公司形成了MO源、电子特气、ALD/CVD前驱体材料和光刻胶四大业务板块 , 研发的高纯电子气体(砷烷、磷烷) , 填补了多项国内空白 , 在LED、IC领域客户中广受好评 。
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