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总结国产光刻机还有很大的进步空间 ， 从一点一滴开始积累 ， ASML也是从一家无人问津的小企业到垄断全球高端光刻机的巨头 。 没有什么是不可能的 ， 正所谓芯片是人造的 ， 不是神造的 ， 光刻机也是如此 。
【中科院公开发声：打破ASML5nm光刻机垄断，这是误读】如今中科院已经宣布要布局光刻机了 ， 国内半导体产业也正在加速 ， 希望光刻机能尽早突破高端工艺制程 。
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