中科院公开发声:打破ASML5nm光刻机垄断,这是误读

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国产光刻机突破5nm?受到芯片 , 半导体等集成电路领域产业的兴起 , 很多人都在关注半导体行业的现状 , 也了解了很多芯片大概是怎么回事 , 知道华为海思 , 高通是全球顶尖的芯片设计公司 , 明白了台积电是全球最大的芯片代工企业 。
但是除了这些之外 , 在芯片界科技含量最高 , 集成度最复杂的还是光刻机 。 一台光刻机10万个零部件 , 普通的汽车也只有几千个零部件 。
中科院公开发声:打破ASML5nm光刻机垄断,这是误读文章插图
相差的不是一点两点 , 尤其是高端EUV光刻机 , ASML每年的产量都十分有限 。 用EUV光刻机才能够制造5nm芯片 , 所以一台5nm光刻机的重要性不言而喻 。
联系到中科院要布局光刻机 , 把光刻机 , 芯片等技术列为科研清单 , 让国内一众民众欢呼雀跃 。
中科院公开发声:打破ASML5nm光刻机垄断,这是误读文章插图
而且之前中科院网站上也发布了一篇关于“5nm光刻技术获突破”的论文更是让网友沉不住气了 , 纷纷发布国产光刻机突破5nm , 打破ASML 5nm光刻机垄断等话题 。 认为中国已经能打造出能生产5nm芯片的EUV光刻机了 。
那事实是怎样的呢?对此发布该篇文章的中科院研究员作出了回应 , 并表示这是误读 。
中科院公开发声:打破ASML5nm光刻机垄断,这是误读文章插图
中科院做出回应“5nm光刻技术获突破”的相关论文发布在网上以后 , 迅速引发网友的热议 。 但随后这篇文章被删除 , 因为存在一定的误解 。 据该文作者 , 中科院研究员刘前表示 , 这项技术和高端光刻机采用的EUV技术是两回事 。
刘前还解释说到 , 中科院研究的5nm超高精度激光光刻加工办法的用途是用在制作光掩模 , 在是光刻制作不可缺少的一部分 。
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但想要因此打破ASML在EUV光刻机的垄断 , 还有很多技术要突破 , 比如镜头数值孔径 , 还光源的波长等等 。
由此可见 , 制作一台EUV光刻机 , 仅仅是掌握其中的一项技术还无法做到完全打破垄断的地步 。 就好比一台汽车 , 由发动机、变速箱、中控、方向盘等多种重要零部件组成 , 不能说其中一家供应商生产提供了方向盘 , 就具备制造整车的能力 。
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中科院公开发声 , 做出回应 , 所以在发布看法和意见之前 , 还需要对真相有所了解 。 当然 , 5nm超高精度激光光刻获得突破也是一件值得高兴的事情 , 一点一滴积累 , 到最后实现更高技术的突破 , 甚至真正打破垄断 。
厚积薄发在了解了事情的真相以后 , 不得不产生疑问 , 我国的光刻机到底是什么水平?
首先按照制程来划分 , 可以分为180nm、90nm、65nm、45nm、22nm、14nm、7nm等工艺 , 据悉 , ASML的EUV光刻机已经能实现5nm制程 , 并且正在向3nm、2nm甚至是更低1nm做出了规划 。
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而据半导体资深人士向AI财经社透露 , 我国目前可以实现180nm制程 , 而且还是在试用阶段 。
国内最大的光刻机设备制造商还有一台没有量产的90nm制程光刻机 , 采用的光源技术还是外企20年前的水平 。 由此可见 , 想要真正达到EUV光刻机水平 , 还远不是现在能达到的 。
十年甚至是更长的时间 , 我们也不需要气馁 , 因为厚积才能薄发 。 现在的我们一直在进步 , 落后的功课也一定能补上 。 在全面发展的同时也是直面自己的问题所在 , 只有直到问题 , 才能对症下药 , 解决问题 , 最后实现厚积薄发 。