光刻机|有没有一个国家可以单独制造极紫外EUV光刻机？光刻机

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我想如果有2个的话，其中之一应该是德国，为什么呢？我在搜索EUV镀膜技术资料时，浏览了德国Fraunhofer研究所下属的光学与表面研究所，发现这家研究所几乎拥有所有的高精尖光学与表面测量技术和装备。当然，毫无例外的是， Fraunhofer也有全套的EUV光源研究、镜头研究、计量装备研究、工艺研究等等。除了Fraunhofer的大量研究所，我们熟知的镜头制造材料、加工、光学制造、准分子激光、二氧化碳激光，无一不是德国工业界擅长的。
我们都知道，微纳加工在中国是很时髦和流行的课题，国内这部分基础研究在国际上因微纳研究论文数量而名声鹊起。然而，中国科研人员可能极少思考：没有了进口设备，我们还剩下什么？从国家和大众以及科研人员自身角度而言，其实从事微纳加工研究的科研人员是没有错的--他们的确为国家在前沿科技研究上紧跟国际、不断创新做了极大的努力。

古人有“工欲善其事，必先利其器”的大智慧，在我们这二十年的科技发展过程里，恰恰忽视了这一点。所以简单来说，我们的科研体系是一条腿走路，我们是靠西方科研体系的“拐杖”在前进--看似风光，实则危机重重。而光刻机之殇，其实正是我们缺“其器” 。

【光刻机|有没有一个国家可以单独制造极紫外EUV光刻机？】

我看到有朋友提到中国需要建立类似Fraunhofer类似的国家工程研究院体系，似乎是很有道理的。我会把Fraunhofer的一些详细技术资料整理统计一下。