产业气象站|全球首拆!十分昂贵的JEOL(日本電子)JSM-5600LV扫描电镜电子枪( 二 )


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阳极帽特写 , 灯丝通电被加热后电子会溢出在韦氏冒(栅极)周围形成电子云 , 在阳极电场的吸引下高速射出行程电子束
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阳极组件和光栅管
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拧开阳极帽后看到电子枪校正线圈组的真面目 , 该组线圈由两组组成每组线圈又分为X和Y两个方向 。
给不同线圈施加电压从而达到校正的目的
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第一组拆解完毕 , 接下来的一组镜筒内是聚焦电磁透镜组 。
该组线圈由两个聚焦线圈组成 , 硕大而厚实的线圈可以提供强有力的磁场将电子束聚焦到几nm的光斑 , 从而达到200000X的放大倍率 。
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线圈特写
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拆掉聚焦线圈组后 , 就看到了最核心的扫描和相差校正线圈组 , 该组线圈外面铁壳内还有一组物镜线圈 。
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电子束射出聚焦透镜组后 , 进入扫描线圈组的光栅
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拆开聚焦透镜组后端的盖板 , 里面还有一个手动光栅组件 , 该组件可以人为选择电子束的光斑直径
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光栅背面特写
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光栅正面特写 , 以看到两个光栅上都有电子束打过的痕迹 , 而且颜色都不相同很好看 。
眼尖的您能看得到光栅孔的位置吗?
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光栅组件拆完之后 , 有个奇怪的结构类似涡旋压缩机的转子一层一层围绕在光栅杆外围
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考虑良久分析之后 , 想到这个结构部件的可能用途之一是吸收打在光栅板上的溅射电子 , 防止溅射电子被带入下一级电子透镜和光栅 。
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聚焦透镜组出射光栅
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扫描透镜组入射光栅
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