产业气象站|全球首拆!十分昂贵的JEOL(日本電子)JSM-5600LV扫描电镜电子枪

大家好~我又来拆电镜了!
上次给大伙拆了全网首拆!扫描电镜专用 , 英国牛津产X射线能谱分析仪(EDS) , 今天给大伙拆一下这个镜子的电子枪吧 。
为啥要拆电子枪呢?这个话题要从遥远的2019年说起 , 那时还没有疫情爆发 , 那时还没有过年放假 , 深圳一位老大哥看我折腾的难受 , 于是说要支援我半套残废的镜子直接研究 , 于是乎镜子就在今年4月份到家了 。
但是呢这玩意没有驱动部分 , 没有电控部分也没有图纸手册 , 所以想要知道电子枪上这一大把电缆的连接定义 , 就只能拆了 。
这套镜子到家之后经过别扭的拆解 , 上楼组装真空系统 , 从到处漏气收拾到能抽到5e-6Torr , 难为了我一个多月 , 眼看着收拾利索的真空系统要拆解破坏重新来调 , 心情格外蛋疼但是不拆也没办法 , 找不到接线定义等于废铁 , 最后纠结一个多月(其实是懒)决定开干!
废话不多说了上图各位开始看戏
首先上图镜子组装完之后镜体和自己焊接的不锈钢角铁机架(电控部分还没做只做了真空系统逻辑控制部分)
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电子枪顶端灯丝仓 , 打开可以看到里面的韦氏冒(栅极)里面包裹的是灯丝
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透过电子枪真空管路接口向内看 , 可以看到电子枪的两个电极——栅极和阳极
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韦氏冒拔下来可以看到里面的灯丝 , 放大可以看到发叉型灯丝的尖端在栅极孔的正中心
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OK开拆电子枪本体 , 电子枪总览
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去掉灯丝栅极组件的阳极帽部分
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特写 , 可以看到阳极帽上被电子打过的痕迹 , 可以猜测这个镜子用的时间不算短
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拆掉第一级镜筒组件 , 可以看到第一层电子透镜(电子透镜用来汇聚电子束)
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第一级电子透镜光栅特写
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拆掉螺丝拿出第一级电子透镜和阳极帽总成 , 可以看到里面的电子透镜线圈
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线圈特写 , 此组线圈用来对电子枪的电子束光斑进行形变矫正 , 每次更换灯丝之后阴极(灯丝)栅极相对于阳极的位置就会发生微小的变化 。
这些变化会导致电子束打在最终样品上的光斑由圆形变成椭圆形 , 导致电镜在高倍率(10000X)下相场模糊或者被观测物体有形变 。
这时就需要用到这两组线圈来校正光斑 , 使光斑达到最完美的圆形来消除这种畸变
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