韭菜花音乐|“磨玻璃”的那些事(二)丨流光E彩( 二 )
超精密光学制造(图片来自网络)
目前 , 最高精度的光刻机是zeiss的EUV光刻机 。 其EUV3400型号的光刻机的镜头光学元件的精度面形达到50pm 。
EUV3400光刻机(图片来自网络)
美国国家点火装置NIF(图片来自网络)
其他的高精度光学大系统 , 对于光学元件制造的需求也有极高难度 。 比如 , 激光核聚变能源项目 , 美国NIF项目需要7360多件大口径光学元件 , 对于全口径的高频粗糙度要求30个周期以上尺度内的扰动小于4nm(RMS) , 对面形精度有极高的要求 。
最后 , 给大家回顾一下一张图片 。
JWST(詹姆斯-韦伯)空间望远镜
JWST(詹姆斯-韦伯)空间望远镜 , 马上发射的全世界最大的天文望远镜 。 从1997年谋划 , 计划2021年发射 , 预算100亿美元 。 它代表的是人类对于宇宙的探索的决心和能力 。
光学元件的制造能力决定光信息的收集能力 , 也决定了光的操控能力 , 极限精度核心光学元件的制造能力是中国精密制造从大到强需要突破的重要堡垒之一 。 漫漫科技征程 , 还需要我们这一代人加倍努力啊!
来源:中国科学院光电技术研究所
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